MEMS兼容丝网印刷PZT压电厚膜探究.pdfVIP

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2017-08-16 发布于安徽
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#$#%兼容丝网印刷BG?压电厚膜研究王蔚!刘晓为!莫冰!王娟 # # # 哈尔滨工业大学中心!黑龙江哈尔滨 # ?%?4 !8! 摘要!对丝网印刷 VF@压电厚膜制备工艺浆料配置$印刷技术$退火条件$上下电极的选择及极化方法等进行了研究!并采用扫描电子显微镜 #及与之配套的能谱分析仪对制备的样品的 4%? VF@ 微观结构$成分进行了测试分析%结果表明! 压电厚膜的膜厚可达 !印制图形分辨率在 VF@ ! ’ 以上!在经退火就可获得良好的微晶结构!且具有压电特性% 8 ’ #p !G 关键词! 丝网印刷压电厚膜 ?%?4 VF@ 中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # $ @5Bc‘ ; !C$!B$$C7 $#B7 # # F’)*/10410(’(8BG? 0*(*+*,130,190,K=80+- -45*2 6 . /,3**’ 30’10’ ,(- 4102+*:019#$#% . 6 . ! ! ! J;5L J-) bDK E)(+U-) ?6 A), J;5L M1(, I ! ! ! # !!#:.*,.% U%A-*)*+,-,’,. F.0;*1 U%A-*!8! :;-* / 47 $ ! 2/134,1 VF@ RG)30O)*’ +,RG-Q)*)3+,U(O-:U(Q’(2-1Q), RG-Q3:--, :),R), R-3G,+*+ (,2 I / I IH RG-’)3:+QR:13R1:- U(Q (*Q+ +RR-, T Q),R-:), . @G)Q R-3G,+*+ )Q 1)R- 3+’ (R)T*- U)RG I H I IH [ / ! ?%?4 (Q( :+’)Q), ’-RG+2+ORG-O(T:)3(R)+,+O?%?4 )-Z+-*-3R:)3’)3:+(3R1(R+:Q.D,RG)Q / I