准分子激光微细加工光路变换地研究.pdfVIP

第29卷 增刊 中 国 激 光 Vol.A29Suppl 2002年 6月 CHINESEJOURNALOFLASERS Itme,2002 文章编号:0258-7025(2002)Su口pletnent-0592-03 准分予激光微细加工光路变换的研究 荆涛殷泊华 陈涛蒋毅坚左铁钊 (北京工业大学激光工程研究院。北京100022 提要 通过对准分子激光光束特性进行研究，并根据准分子激光微加工的需要 设卜计了一套实用的 准分子激光微加工光路。 关健词 准分子激光，微加工，光学系统，场镜 中图分类号 16665 文献标识码 A StudyofBeamTransformationinExcimerLaserMicromachining DINGTao YINGB-ohua CHENTao JIANGYi-jian ZUOTie-chuan 。〔梅，扩LaaerExginErring,BczjiregPod3,t-hnicC:ni-fry,Beijing100022) A1shAd Accordingtotherequirementofexcimerlaserrnicromachining,soopticalsystemisdesigned场studyingthe beampropertyoftheexcirnerlaser. Keywords excimerlaser,micromachining,opticalsystem,fieldpiece 1 引 言 2 加工光路系统的设计 微机械具有体积小、精度高、能耗低及高智能化 本实验所采用的微加工方式为掩模投影直刻 等优点。它的总体尺寸在毫米甚至微米量级，需要 法，这种方法的原理是利用准分子激光照射一与被 将许多微小的元件集成到一个微小的单元内。它的 加工工件反相的掩模板，即需加工的部分在掩模板 高集成度、尺寸的微小及高精度要求都注定了现今 上为透明的部分，然后利用一缩小物镜将掩模板成 传统的加工方法难以完成微机械的加工，因此在微 像在被加工的材料上，受到光照的部分被激光刻蚀， 电子工艺的基础之上，人们提出了许多新的加工手 余下的部分即是工件。它的特点是加工精度较高， 段。其中之一就是准分子激光微细加工川。准分子 可一次成形，加工速度快。对于这种加工方式来说， 激光微细加工技术以其较高的精度，较低的成本及 光路中最重要的两点要求是:一，在掩模面上光斑的 较快的加工速度在微机械的加工领域受到了极大的 均匀性;二，激光能量的高利用率。由于投影成像法 重视。它利用准分子激光光子能量高的特点，对于 的加工为并行加工，一次成形，为了达到工件上各点 某些材料甚至可以实现冷加工，并且波长短，聚焦光 的加工效果的一致，自然需要到达加工工件各点上 点小，所以加工精度高。但这毕竟不是一种成熟的 的激光能量密度相同。并且由于各种材料都有一定 技术，在很多方面还需要进行进一步的研究。 的刻蚀阐值，如果能量利用率过低，就会使准分子激 准分子激光器出射的激光截面上能量分布不 光加工的材料范围变小。 均，如果将准分子激光直接用于加工，很难达到好的 为了满足均匀性的需要，在准分子激光出射后 加工效果，在利用准分子激光实行微加工之前，必须 使之通过一均束器以达到光束截面能量分布均匀性 对准分子激光进行整形和光束变换以满足加工的需 的要求。但未经过均束时激光的发散角在两个方向 要，这就需要设计出一套完善的微加工外光路系统。 都比较小，经过均束器后，由于多个透镜的共同作 本文通过对准分子激光光束特性进行研究并根据准 用，使得从均束器出射的激光的发散角增大，使得通 分子激光微加工的需要，设计了一套实用的准分子 过均束器后的激光光束口径远远大于系统中各元件 激光微加工光路。 的口径，这会减小光能的利用率。为了提高激光