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VASE 椭偏仪
VASE Ellipsometer
仪器型号：VB-400
生产厂家：美国J.A.Woollam公司
主要特点：VASE是一款性能出众的通用型椭偏仪，它可以测量各类材料：半导体、电介质、聚合物、金属、多层膜等等。在宽的可选光谱范围（2501700 nm)内，融合了高准确性及高重复性的相位延迟技术。可变角度及可变波长拓展了测试能力，可以轻松完成下列参量的
测试：反射及透射椭偏；通用椭偏术 (各向异性, 延迟, 双折射)反射及透射强度交叉偏振 R/T退偏散射穆勒矩阵——0.1 ~ 3 s/nm；高精度模式——20 s/nm
扩展应用：表面粗糙，组分比、折射率梯度分布、膜面均匀性、光学各项异性测量。
应用领域：半导体、光伏产业、平板显示、存储、生物、医药、化学、电化学、光学镀膜和保护膜、减反膜、透明导电膜、聚合物膜、自组装膜、光刻材料等。
单层ITO薄膜厚度测试及拟合：
多层膜厚度测试及拟合：
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