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2017-08-16 发布于安徽
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微环谐振滤波器工艺制作过程地研究.pdf

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第五届全国光子学大会会议论文集第三分册：集成光学微环谐振滤波器工艺制作过程的研究 a a b a a a b 徐元哲马春生鄂书林闫欣张大明王菲孙德贵吉林大学电子科学与工程学院、集成光电子学国家重点联合实验室、长春 130023 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所、应用光学国家重点实验室、长春 130021 摘要：本文介绍了采用单环微谐振器的光滤波器的基本原理，详细介绍了旋转抛涂法、真空蒸发法、光刻及反应离子刻蚀法等制备微环谐振器的工艺过程。波导包层材料采用甲基丙稀酸甲酯-甲基丙稀酸环氧丙酯共聚物，以双酚A 环氧树脂为高折射率调节剂，采用二者在共聚物中的不同配比来调节芯层材料的折射率。最后给出了初步实验结果。关键词：微环谐振器聚合物材料光刻反应离子刻蚀 0 引言基于聚合物的光波导器件作为新近发展起来的光电子材料，是近几年研究的热点。聚合物完全不同于已有的具有规则结构的晶体材料，它是一种非晶态的固体，具有一定程度的柔韧性和可塑性。聚合物材料具有较大的热光系数和较好的光电特性。本文进行了聚合物微环谐振滤波器的制作工艺研究。 1 微环谐振器的基本原理 1.1 基本结构单环谐振器是微环谐振滤波器中最基本的结构，如图 1 所示，其他更为复杂的结构是以单环为基本单元排列而成，如多环并联、多环串联、多环阵列等结构。 S S1 10 10 8 8 6 6 S 2 4 4 2 2 0 0