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张海霞!郭 辉!肖志勇!周荣春!郝一龙
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北京大学微电子学研究院!北京 #
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摘要!#HAA是一个自主研发的HAHI!08 系统!它包括节结点化的系统设计功能%工艺编辑%
设计和三维模拟功能%参数化版图单元的版图设计功能等该系统的最大特点是以工艺为主线!贯
穿整个设计过程!重点解决HAHI设计与工艺脱节的问题!实现HAHI工艺设计和在线模拟另
外!该系统是跨平台的!即适用于]#也适用于N#]8:NI操作系统!对其他HAHI!08软件
具有很好的兼容性!还支持用户自主扩展其他功能模块
关键词! ’ ’工艺设计与模拟’跨平台 (
HAHI!08 #HAA ]# N7’/.PG
中图分类号! 文献标识码! 文章编号! # $
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