微型机器人位置检测传感器阵列地研究.pdfVIP

堡里垫堡竺兰竺型堡整墨堕型盟翌查—————一 微型机器人位置检测传感器阵列的研究 李德胜1，陶隽源2，藤田博之3 机电学院．jE京I监大学．中国北京100022．电话010 2自动纯灏试s控韵系．哈尔滨I监大学。中国哈尔滨l∞∞1． 3生产技术研究瞬第3部．8本国末京大学 e-mail：dsli@bjpu．edu．cn e-mail：—t—aolinTa——an@sohu．com [摘要]提出了一种基于电磁能量场驱动的新型机器人足球平台，针对该系统中机器人及球体 需要实时位置检测的问题，研制了三种传感器阵列。它们是基于悬臂粱结构的微磁性开关阵列、 IIOS霍尔传感器阵列，以及涡流电感式传感器阵列。这三种传感器均可通过扫描查询方式对平 面上的机器入位置进行实时检测。本文介绍它们的构造、工作原理及制造工艺，并给出部分实 验结果。 【关键词]机器人定位机器人足球磁性开关霍尔传感器涡流传感器 引言 近年来兴起的机器人足球赛…“’，集科技性与趣味性于一体，引起了人们的广泛兴趣。机 器人足球活动极大地促进了分布式人工智能研究与教育的发展。它通过提供一个标准任务，使 得研究者利用各种技术，获得更好的解决方案，从而有效促进各领域的发展。但传统的实物机 器人足球系统一般由两台主拉计算机、若干个机器入、机器入位置识别摄像杌、无线通讯模块 等硬件部分和软件所构成，系统构成比较复杂，价格也比较昂贵。 针对现有机器人足球平台的问题点，笔者在研究MEhIs微搬运系统的基础上，提出一种新 型机器人足球平台概念，如图l所示。在该系统中，机器人主要为高能永久磁铁构造，它本身 不带驱动和储能机构，依靠驱动平台的线圈阵列提供可控制的外部电磁能量场动作。另外，机 器人及球体的存在位置由埋置在驱动平台中的二维传感器阵列实时检出，通过反馈控制，并结 合驱动算法，可实现与现有的机器人足球规则相近的功能。但是，在新提出的机器人足球系统 中，机器人由于不带驱动机构，也不携带储能单元，可大大降低机器人的造价，也可使机器人 的体积大幅度减小，如小到芝麻程度。另外，该系统中取消了传统的CCD摄像机传感器系统， 也是该系统的造价和体积大大减小。因此，利用该系统可望实现掌上机器人足球实物游戏。 本文主要介绍笔者针对该机器人足球系统试制的几种二维阵列式传感器，报告了这几种传 感器的工作原理、构成特点、制造工艺及部分实验结果。 图1、笔者提出的新型机器人足球平台 858 苎全墨全里苎查垄竺量堡垒墨兰查全堂坐 1．磁性开关阵列 当永久磁铁垂直接近一细长的磁性悬臂梁，悬臂梁会被磁化并朝磁铁方向弯曲。若介于二 者之间靠近悬臂梁放置一非磁性金属电极，磁铁的有无可使悬臂粱与电极间产生开关动作。这 样的构造我们称为磁性开关，若将磁性开关阵列化，就能实现二维平台上磁性机器人运动位置 的检测…。 基于上述工作原理，我们采用MEMS制造工艺试制了一种微磁性开关阵列，如图2所示， 主要的工艺为电铸镍。它为一10％10的阵列构造，每个单元的尺寸为1耐，其中活动部的尺 um。另外，为了利于释放中间的活动部分，设置了许多小孔。 寸约0．5L．m，梁部的线宽20 实际设计中，考虑到传感器的磁场灵敏度、稳定性等各种因素，通过对十几种传感器构造 的实验比较，筛选出了图示的结构。实际的传感器由上下两部分粘合构成，下部活动部分用作 开关的一个电极，上部为固定电极，二者分别制造。当开关阵列表面有微小磁铁存在时，位于 磁铁下面的开关单元的镍质双端支撑粱被磁化向上弯曲，并和上部固定电极相接触，此时开关 导通；当磁铁移开时，悬臂粱依靠自身的弹性复位，开关断开。将该传感器阵列置于驱动线圈 阵列下部(驱动线圈可同样采用MEMS工艺制作在固定电极所用基板的背面)，每个微开关单元 对应一个驱动线圈，通过扫描与查询，就可检测出平台上机器人的运动位置。