原子力显微镜校准技术地研究.pdfVIP

原子力显微镜校准技术的研究 高思田邵宏伟王春艳叶孝佑徐毅 (中国计量科学研究院．北京100013) 摘蔓：奉支研完了一台^有中牛测■苊田，并加装了由三台截型激光干涉仪组成的 三肇捌量‘麓曲计量型碌子力量截麓曲扫彗器按堆．是出了簟参鼓接堆和三肇技堆两种 方法．所设计的千涉仪的布局特别适合于计量特性的研究‘如一十穆葡轴在其它两个坐 标方向所产生的耦合位移)及曩子力亚徽锍的校堆．由于x J}l，y向干涉仅的测量面与琢 子力曼t麓的x1潮量面不共面．当测量台发生转动时所造成的很大的阿见诿差．遗过 用一两簟白堆直光警对测量台的转角进行舅t对北进行了研兜分析．所做的校准是对薹 十测量空同进行的，而不是仅仅对莱根轴蠛而吉的．并在愿予力里截境曲疆动控蝌程序 中加入用校准站秉所产生的校堆数据．使舟犀子力里徽镜的穆动蹙簪在一个相当接近于 正变和辱重的三堆测量空间进行． 引言 原子力显徽镜(A