一种新型微机械谐振器关键工艺--各向异性腐蚀地研究.pdfVIP

一种新型微机械谐振器关键工艺——各向异性腐蚀的研究 赵红坡 朱长纯 (西安交通大学电子与信息工程学院 710049) 摘要：本文介绍了一种新型的双层谐振器。并用各向异性腐蚀剂KOII和撇H，以及结合干法刻蚀实现了 谐振器的制作．并且对两种湿法腐蚀剂K伽和nIAH的腐蚀效果作了比较． 关键词：关键工艺。谐振器，各向异性腐蚀 1．引言 近几年来，MEMS(微电子机械系统)谐振式传感器越来越受到人们的重视．因为相比 较传统的传感器来讲，MI孙IS谐振式传感器具有体积小。响应快，成本低和准数字输出，而 在谐振式传感器的结构中的核心部件就是谐振器．谐振器的设计包括物理结构，外形以及 激励和拾振方式． 微机械谐振器在外形上表现为膜片．粱和桥等形状，有单层，’双层，三层，五层结构 u1，激励和检测方式包括电磁激励／电磁拾振，静电激励／电容拾振，逆压电激励／压电拾 振，电热激励／压敏电阻拾振和光热激励／光热信号拾振u1．由于电热激励／压敏电阻拾振 的微谐振器制造工艺与工业IC相兼容，而且振动激励贺信号拾取的难度相对较小，因此我 们设计了一种电热激励／压敏电阻拾振的微悬臂梁谐振器。 2．微悬臂梁的结构 1．结构示意图