亚波长超微细减反射结构的研究.pdfVIP

第31卷第Z2期 Vol 光子学报 3INo．Z2 2002年12月 ACTA PHOT()NICASINICA DCC200l 亚波长超微细减反射结构研究 杨李茗柴立群周礼书杨春林 (成都精密光学工j目趼究中心．四川成都61面41) 摘 要当光栅周期小于所使用的波长时，亚徽米的表面徽结构可以具有减反射作用． 本文报导率了理论研究和制作技术，成功地制作了周期为400rim等的超徽细结构。酒量 结果与理论值具有良好的一致性． 关键词亚菠长：徽细结构}满反射 1研究背景 衍射光学研究的一个重要方向是向亚波长超徽细结构发展，其中最具代表性的 器件研究就是亚波长减反射表面微结构．这种徽结构的理论及制作技术的研究不仅 发展了超微细结构的表面电磁场理论，更是对超微细加工技术的发展起到了很大的 推动作用．同时传统介质薄膜方法受到所沉积介质材料折射率的限制，在～些特殊 场合难以实现有效的减反射，超微细结构作为减反射表面的作用具有一定的研究意 义．本文采用BK_K矢量分析法研究了亚微米表面光栅的零级衍射效率，采用电子 束直写技术和反应离子束刻蚀技术成功制作了400rim周期等间隔韵超徽细减反射 光栅，并实际测试了减反射特性，得到与理论值一致的结果． 2理论研究 ’一／ 根据对如图1波矢图的简单分析可知，当入射光的波矢…‘％与光栅矢量 ，几 2形相比较小时，反射波只存在零级反向衍射，而透射波除了0级以外还有±1 ／』、 1一／ 级衍射波；如果透射波矢“…％也小于光栅矢量，则透射波也只存在零级正向衍 ，^ 射，当然严格地说。在界面切向存在着一系列更短周期的倏逝波． BKK矢量分析法就是通过对位相光栅表面的一系列傅立叶级数展开，并通过 引入多个倏逝波的方法来解表面电磁场方程组．与其他矢量分析法相比，BKK法 具有较高的计算效率，但在处理更复杂的表面面形位相光栅和深槽位相光栅时其计 算收敛性不如RCWA方法有效。本研究课题采用BKK方法对最常规的矩形位相光 栅进行了理论分析，得到衍射效率与光栅占空比、光栅槽深和入射光角度之间的关 系。 矩形相位光栅如图2所示。其轮廓沿Y方向保持不变，沿x方向周期分布，光 栅周期为d，高度为h．光栅被眼于z=～打和z=0两个平面之间，假设区域I (z-h)是均匀介质区域，折射率为‰，区域Ill(z0)也是均匀介质区域， 折射率为n。，那么在区域ll中折射率或者是no或者是H。，且其分布只与x坐标有 关，与z坐标无关。这样区域II的介电常数只是x的周期函数，可用其付里叶级数 收稿日期：2002一06—29 三坠一．一． 垄三兰堡 ：!堂 展开形式表示： 勘G)=∑E,exp(i2twx／d) (1) 其中的系数可由下式求得： ． 铲吉nG)exp(-，2mx／d)Jx (2) 假设入射波为传播矢量在XOZ平面上，从区域I以口角入射的单色平面波．对 这样的一维光栅衍射问题。显然空间的电磁场分布与y无关，利用筒谐波的麦克斯 韦方程可将空间的电磁场分解成两个基本的偏振状态：横电偏振态(TE)和横磁 偏振态(1M)．这样矢量场就分解成两个标量场，光栅的矢量衍射问题就分解为两 个基本的数学问题：横电问题和横磁问题． 入射光经过光栅衍射后，在区域III形成正向衍射场，在区域l形成逆向衍射 场．不管对横电偏振态还是横磁偏振