超深亚微米级硅基螺旋电感器等效电路模型研究.pdfVIP

第4部分通信理论与技术 超深亚微米级硅基螺旋电感器等效电路模型研究 杨红庞宏文光俊 (电子科技大学通信与信息工程学院贼C研究室，四川省成都市610054) 摘要：本文根据超深亚微米级硅基螺旋电感器的物理特性，利用全电磁波仿真程序模拟出硅基螺旋电感器的 射频特性参量，在此基础上提出了一种高精度的硅基螺旋电感器等效电路模型，将射频特性拟合到等效电路中 抽取出其元件参数值。在硅基螺旋电感器的自谐振频率以下，其全电磁波仿真的射频特性与等效电路模型的仿 真值之误差均小于3％，二者具有很好的吻合度。 关键词：等效电路模型；硅基螺旋电感器；自谐振频率 of leVelSi·Based lnductor Sub—micro Spiral StudyDeep CirCUitModel EquiValent Wen