数字瞬时测频(DIFM)超导延迟线地研究.pdfVIP

数字瞬时测频(DI FM)超导延迟线的研究 王海彦吴东升胡来平张峥官海燕张朝兴 信息产业部电于第十^研究所．台肥230043 王小平 北京有色金属研究总院．北京100098 【摘要】针对致字瞬时测频应用，采用YBCO薄膜设计制各了一组固定延时超导共面波导延迟线。给 出了2～8GHz的备延迟线的延时和插入损耗测量结果。 一．引 言 数字瞬时澜频(D[FM)技术．已在电子战系统中广泛使用，其量化过程是采用～组延 迟时问按2n规律递增的固定延迟线。通过二进制鉴相来实现的。为达到一定的频率分辨率 和测频精度要求，延迟线应有足够的长度，具有插入损耗低、温度稳定性好、相位偏离小 等特性。利用高温超导材料无频率色散、射频电阻极低的性能，可以制备宽带低损耗、弱 色散、相位偏离小、温度稳定性好的微波延迟线。因而，超导延迟线用于瞬时铡频受到人 {f]的关注。Guo。Chun Liang等人已研制成满足空间质量要求的高温超导DIFM子系统。我 们针对这一应用，进行了HTS超导延迟线制备技术的研究。先后研制出单片微波延时选5ns 和10ns的微带和共面波导延迟线。本文介绍针对2～8GHz现行DfFM装备要求的～组超 导延迟线的设计、制备、实验结果。 二、超导延迟线的设计考虑 超导平面结构微波延迟线可以用带状线、微带线和共面波导三种电路形式，如图一所 示。各种电路形式有其自身优缺点。我们选用共面波导电路结构。主要考虑是：1．共面波 导可用单面超导薄膜实现。带状线和微带均需双面薄膜，大面积双面薄膜制备困难：2．共 面波导的特征阻抗主要决定于中心导带与导带和接地带间的间隔之比．设计灵活与外电路 匹配方便；3．电路结构比带状线简单；4．有利于在较小的面积上制各较长的延迟线。我们采 89K-J。～ 用YBCO／LaAL01单面薄膜．村底厚度为O．5mm，膜厚～4000A，薄膜的L 106A／em2。 (a) (b) (c) 图1 (a)带状线 (b)微带线(c)共面波导 128 在设计电路时，我们重点注意了减小线间的耦台问题，以保证尽可能低的相位起伏。 在满足延迟要求的条件下．尽可能增大导带之间的间隔。对标称2．56ns和10．24ns的延迟 线采用双绕螺旋线，消除电路结构的自感。我们采用m35mm的YBCO／LaALOl单面薄膜设 计的标称。延迟时间10．24ns的共面波导延迟线，中心导带宽度60岬，导带与接地带的问 皈 (a) (b) (C) ns(b)2．56ns(c)10．24ns的光刻模板 圈2标称延迟(a)O．16ns和O．64 三． 超导延迟线的制备 超导薄膜电路的刻蚀是延迟线制备的关键环节，通常可用干法和湿法两种刻湿方法，我 J根据自己的条件，采用湿法】：艺，刻蚀液为稀磷酸，由于共面波导中心导带很窄。义需制 作K线条．川便于控制，我们加了少量缓蚀剂。适当降低刻蚀速度。掩膜版是用进13制版 设备制备的，线条边缘起伏～l岬，因而有较高的精度，所用光刻胶为国产高分辨负性光 刻胶，通过实验掌握了加工长线条的技术，成功地制备出10ns的共面波导延迟线．线条清 晰、边缘整齐，避免了加工引入的附加损耗，延迟线苍片用弹簧压片小心紧固在屏蔽盒内， 芯片与微带探针用铟连接。注意了连接处的阻抗匹配问题。图3为10．24ns超导延迟线的 照片。 图310．24ns超导延迟线的照片 四．实验测试 在液氮温度下，捌量了各延迟线的插掼和墩披延迟，结果如表一所示，测量