力平衡角加速度传感器地研究.pdfVIP

第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月 #- - #. / 力平衡角加速度传感器的研究! # 迟晓珠 金鸿章 王劲松 哈尔滨工程大学自动化学院 哈尔滨 # 哈尔滨工业大学 哈尔滨 $ %’ $ %’ 摘要 在开环压阻式角加速度的基础上 对敏感质量环进行力反馈 提出闭环力平衡系统的设计方案 经试验验证 力平衡压阻 ( ( ( ( 式角加速度计具有灵敏度高 阈值小 成本低 抗冲击能力好等优点 由于采用了力反馈技术 使系统响应对于外界干扰和内部 ) ) ) * ( 系统参数变化不敏感 因此可采用成本较低 要求不高的元件 构成较精密的系统 ( ) ( * 关键词 力平衡 角加速度 传感器 +,-,./012342/0,5.6.30,78396,800,6,/2:,;,/ # =?@AB=C DEFAEGB=@EG H@EGDEIAEG J $ ( ( J_‘‘‘J( ’ KLMNOPMQNRSNTTUVU WPXYQRZRVQRUUXQRV[RQ\UX]QM^ WPXYQR SaQRP b $ e ( ( J_‘‘‘J( ’ cUdM NfKLMNOPMUghU]MPRgSNRMXNT WPXYQRiR]MQMLMUNfhUjaRNTNV^ WPXYQR SaQRP r ( 8k-;/.0; lEm=no@IIApm=nAqnEsAAqqnBAtnIImun@EGsn@vvnsntAwnmnt m=nxnIGEIv=nwnApm=nvsAInxsAAq e pAtvno@s@EvnxIyImnw z@IqCmpAtz@txmAqtAvnnxm=npAtvnpnnxo@v{mAInEImun|C@EmmytEG }mI@qqtAunx ( ( m=tACG=n~qntwnEmm=@mm=npAtvno@s@Evnx@EGsn@vvnsntAwnmntpn@mCtnI=G=InEImumy Iw@ssm=tnI=Asx sAz e ( vAIm@Ex=G=I=Av{v@q@osmy !nv@CIn@xAqmEGm=npAtvnpnnxo@v{