外场作用下纳米结构物性的原位电子显微学的研究.pdfVIP

第七次华北五省市电子显微学研讨会及第九届全国实验室协作服务交流会 外场作用下纳米结构物性的原位电子显微学研究木 王岩国 (中国科学院物理研究所， 北京中关村南三路八号，100190) 电子邮箱：ygwang@blem．aC．cn 从物理特征来讲，尽管纳米体系和宏观系统都包含大量的原子和分子，但宏观系统可 以用材料的平均特性束描述。与之相反，鉴于纳米体系其物理结构的小尺度特点，围绕物理 可观测量平均特征的涨落显得更为重要。与原子微观体系一样，纳米体系所遵从的物理规律 依然是以量子力学为基础。但是规律与尺度特征的结合，使得它的物理属性表现出既不属于 原子尺度，也不是宏观大块系统的行为，而是有着其独特和新奇的特性。低维、纳米结构和 量子点等器件能麴明显地表现出量子干涉和无序所导致的派落现象以及多体受限系统中的 电子强相互作用等基本物理属性。这些效应在一定程度上受纳米结构的尺寸、形状、外场等 因素的控制。由于材料的结构，特别是微结构是实现其功能的载体，所以材料微结构表征在 纳米材料研究中占据了重要地位。鉴于纳米材料尺寸的限制，结构表征主要利用透射电子显 微镜来完成。透射电子显微镜的空间分辨率已达到原子尺度，可以在原子分辨的水平表征其 微结构特征。受透射电镜样品室空间的限制，一般电镜样品台无法将外场引入到样品上，有 关纳米材料的微结构信息都是在没有外场的情况下获得的。由于纳米材料独特的物理性质只 有在外场存在的情况下才能体现出来，在外场作用下研究材料的微结构对于了解纳米结构的 行为，特别是单根纳米线对外场的响应特性和输运性质尤其重要。 针对纳米结构表征的特殊要求，利用特殊设计的透射电子显微镜样品台(Nanofactory 究。通过设计将扫瞄隧道显微镜的功能结合到透射镜样品台上，样品台的微传动机构可以使 附带的探针(作为移动电极)进行精度达到纳米量级的三维移动，可以准确地对单根纳米线 施加电场，进行输运性能的测量。同时还能够利用移动探针对纳米线施加应力，了解应变对 纳米线电输运性能的调控作用。利用这种原位电子显微学方法准确地表征了ZnSe纳米线的电 输运性质，包括电路导通的阈值电压和电流．电压关系，以及应变对电输运性质的调控作 车国家自然科学基金资助课题(项目批准10774174) 第七次华北五省市电子显微学研讨会及第九届全国实验室协作服务交流会 用，发现轴向压力使得阈值电压降低，电流增加。由于应变可以提高半导体的电子迁移 率，应变的另一个重要作用是可以有效提高纳米线的电流承载能力。 将单根纳米线置于外场作用下，在进行物理性能测量的同时研究其微结构，找出各种 纳米线显微结构变化与输运性能的对应关系，充分体现了电镜高空间分辨率的优点。利用 电子显微镜原位监测热处理过程中纳米材料微结构的变化，可以研究纳米材料失效特征及可 控调整。由于界面萧脱基(Schottky)势垒的作用，观测发现：烧损通常发生在反向偏压的 电极处，因此，半导体纳米线的电致烧损与电极的偏压条件有关，受偏压极性调控。监测纳 米结构的形貌可以研究金属．半导体纳米线界面的化学反应，即合金化过程，结果表明：在 脉冲电流的作用下，ZnSe纳米线可以产生明显的焦耳热效应，对纳米线和界面进行热处理， 导致Au—ZnSe纳米线界面发生合金化反应。通过调整纳米线与金属电极的接触面积，可将焦 耳热效应准确控制在界面内，进而实现纳米尺度的合金化反应。这种原位合金化。还可以作 为一种新的金属和半导体纳米线连接技术，该方法具有过程实时、可控的优点，可以实现半 导体纳米线与金属电极的纳米尺度焊接。 将测量技术与电子显微学结合，实现外场作用下的纳米结构研究可以揭示一些新的物 理现象，为了解纳米结构的本征物理、化学性创造条件，同时也为探讨通过显微结构控制来 改善纳米结构性能提供了新途径。外场作用下的纳米结构研究极大地丰富半导体纳米器件微 结构研究内容，使纳米器件的研究提高到一个新的层次，为开发新纳米技术，推动纳米结构 和器件的研究、设计与制备创造了条件，又为进一步开拓电子显微学在纳米科学和技术中的 应用奠定了基础。 2