图像对准系统中图像处理与标记图形的研究.pdfVIP

!!!：±：!璺 苎±二生全曼皇王查：查三查：查三查主查±全 !：L皇塑 图像对准系统中图像 处理和标记图形的研究 陈伟明，刘业异 (中科院光电所微细加工国家重点实验室，成都610209) 摘要：本文阐述视频图像对准系统的原理及图像细分处理过程。讨论标记图形与减小对准误 差的处理方法． 关键词：图像处理；对准系统；标记图形 1引言 视频图像处理对准方式不仅在光学光刻(投影式和接近式)中应用广泛，在x射线光刻机研制 中也将是最理想的对准方式。视频图像对准是通过对掩模和硅片上的两个标记图像(见图1)的采集、 滤波、识别、精确定位来完成对准的。虽然图像的分辨率可以通过光学放大的办法得到一定提高，但 是放大倍数的增大势必影响图像的视场范围和输出信号的信噪比，降低图像的清晰度，标记图像的分 辨力也受摄像CCD器件的分辨力限制。在一定的硬件条件下，怎样达到较高的对准精度，就是图像 处理算法研究的任务。 掩模上制作的标记一般比较规则，成像后也比较容易处理．硅片上的标记一般是通过光刻的方法 制作上去，经过工艺处理后标记图像往往存在较严重的畸变，如何准确地求出标记中心，是提高视频 图像处理对准精度的关键问题。 努力的方向一是改善图像的成像质量，提高图形识别分辨率；二是研究有效的图像处理算法；三 是研究好的标记图形，以更准确地求取标记中心，本文对硅片上标记图形进行一些探讨。 2图像对准系统的构成及实现原理 视频图像处理对准系统硬件主要由CCD摄像器件、图像采集卡、计算机、成像光路、照明系统 和控制驱动电路等部分组成，其基本结构如图1所示。系统中两支完全相同且相互独立的成像光路分 别摄取左右两组标记，对准物镜应有足够大的焦深．阻保证掩模和硅片在分离一定的间隙时，在CCD 像面上能同时得到清晰的“十”字和方框标记图像，经过图像采集系统送入计算机进行处理。对准的 目的就是要使每次曝光的掩模和硅片上的标记图形中心精确的重合。 工 图1 图像对准系统结构简图 ．!坐±!!望 里堡苎堡墨垫主里堡些墨查塑兰璺型竺堡壅 !!! 的值可由(1)(2)两式求得： 1 △x；!兰堡!二苎型!!±!兰型2二苎丛2 (1) 2 2 11盐[＆!1 △y：监!二生1 (2) 2 对于A0(角度偏移量)，由于上片预对准能使Ae≤2。。则△e可写成 价嘴坠当号训 (3) 式中d为硅片(或掩模)的左右两标记问的距离。 根据所得的偏移量，通过控制电路驱动工件台对硅片进行相对位置调整，即可自动完成对准过程。 3标记的数字图像处理 由于标记图像在采集过程中不可避免的引入了来自光路扰动、系统失真和电路噪声等干扰，在标 记和背景的渐进过渡区域影响尤为明显。另外，超净室的非洁净因素造成的掩模和硅片标记图形上落 入的尘埃，在曝光中采用的不同覆盖介质等也给最终的标记图像引入了较大的外界噪声。因此必须对 有噪图像先进行处理，可采用一些能保护图像边缘的滤波算法…。同时，通过求和投影来确定目标图 像的位置域，从而缩小插值检测窗口．加快定位计算速度，并且也有效抑制了窗口以外的噪声t2]。经 过求和投影处理的图像如图2。 图2求和投影处理后的图像 在高精度图像测量、定