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用VLS机制制备硅纳米线的生长阶段的研究.pdfVIP

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  • 2017-08-15 发布于安徽
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用VLS机制制备硅纳米线的生长阶段的研究.pdf

    第22卷 增刊 真 空 科 学 与 技 术 2002年 VACUUMSCIENCEANDTECHNOLOGY(CHINA) 用VLS机制制备硅纳米线的生长阶段研究 邢英杰 奚中和 薛增泉 俞大鹏 (北京大学电子学系，北京 100871) (北京大学物理系，北京 100871) GrowthofSiNanowiresviaVLSMechanism XingYingjie,XiZhonghe,XueZengquan (DepartmentofElectronics,PekingUniversity,Beijing100871,China) YuDapeng DepartmentofPhysics,PekingUniversity汪3eijing100871,China AbstractSiliconnanowiresweregr

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