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2015年春季微加工实验室设备独立操作培训申请表.doc
2015年春季微加工实验室设备独立操作培训申请表
姓 名 课题组 学生请填写学号
工作人员填职称 培训设备 电话 手机 电子邮件 课题组长或项目负责人（签字） 课题帐号 申请日期
培训设备：
加工设备：
1、聚焦离子束（DB235/H600i） 2、电子束光刻（Raith150）
3、电子束光刻（J6300）（仅限职工） 4、紫外光刻（MA6）
5、激光三维直写 6、纳米压印
刻蚀设备
7、反应离子刻蚀 8、感应耦合等离子体刻蚀
9、离子束刻蚀 10、微波等离子体去胶机（TEPLA）
镀膜设备
11、原子层沉积系统 12、热蒸发
13、电子束蒸发 14、等离子体增强化学气相沉积
测试设备及其它
15、台阶仪 16、引线仪 17、原子力显微镜（SII-400）
18、椭偏仪 19、四探针测试台 20、快速退火炉
21、白光三维轮廓仪
注：请于2015年4月8日中午前将经课题组长（或项目负责人）签字的申请表交
微加工实验室 金爱子 （M202房间，电话：8198）
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