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第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月
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微机械和微机器人研究的最新进展
王海翔 孙 萍 上海大学精密机械系 上海
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摘要 微机械是一门新兴的技术 微机器人是机器人研究领域里的一个重要方向 本文阐述了微机械和微机器人的发展现状及在
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一些领域中的应用 介绍了国内外最新研究成果及相关技术的发展
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关键词 微机械 微机器人
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微机械技术 十年开发计划 但各个国家的研究重点
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引 言 还是略有区别的 美国对微机械研究的主要工作集中
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在以半导体制造技术为基础的微电子机械系统的开发
年美国加州大学贝克利分校首次成功研制 上 而日本主要致力于将传统的制造技术毫微化 利用
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出 的静电型微马达 被认为是微机械诞 现有的金属等材料 综合现有机械技术 制造出微型机
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生的标志 于是世界各国兴起了对微机械研究的热潮 械
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微机械主要研究
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