微装配系统三维坐标变换地研究.pdfVIP

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第 卷第 期增刊 仪 器 仪 表 学 报 年 月 // 0 /$$# 1 微装配系统三维坐标变换的研究! 李玉和 陈璐云 李庆祥 李 勇 清华大学精密仪器与机械学系 北京 #$$$%’ 摘要 提出了基于立体视觉的微装配系统中微器件三维坐标变换的方法 该方法的系统模型中综合考虑了 摄像系统 显微成 ( ))* + 像系统 工作台以及微夹持手等多坐标系统 并运用光学原理 建立了微装配系统中微器件成像关系 研究分析表明 这种方法是一 + , , ( , 种有效 简单 易行的方法 + + ( 关键词 坐标变换 立体视觉 微装配 微机电系统 8 8 -./01234567709:73;923=226093.923463;?26: 2?@9A62;;7:B=1-1;.7: CDEFGH )GHICFJFI CDKDILMDNIL CDEOIL , , klllmn’ PQRSTUVQWUXYZTQ[\]\XW^W]UT_VQWUSW‘aQ[bSWXcXde f]\Wdb_SgW\hQT]\Ue iQ\j\Wd w w oB;.6A. p IHq rHsGOtuOvsGvHHtDrHIxDOINyzOOvtDINsDOIsvNIxuOvr {NxHtOIxsHvHO|DxDOIDIrDzvONxxHr{yJ } w , , xJxsHr ~GDxrHsGOtsN!HxDIsONzzOFIsrNIJrFysDzOOvtDINsDOIxJxsHrx xFzGNxxDILyH))* zNrHvN xsHvHO rDzvOxzO , w } , H qOv!DILsN{yHNItrDzvOLvDHvNItxOOI pzzOvtDILsOsGHOsDzNyvDIzDyH sGHvHyNsDOINrOIL w } , sGHDrNLHxOurDzvONvsxDxHxsN{yDxGHtDIsGDxNHv #MHvDrHIsNyxsFtJxGOqxsGH|NyDtDsJ xDryDzDsJNIt } HNxDIHxxuOvFxH w $71%260; )OOvtDINsDOIsvNIxuOvr sHvHO|DxDOI ’DzvONxxHr{yJ’#’ 该微装配系统由工作台 w 精密工作台和微动 , E 引 言 台 微

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