SnO-%2c2-基CO气敏元件地研究.pdfVIP

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$ 基 气敏元件的研究 !# %# 刘凤敏 陈丽华 全宝富 吉林大学电子科学与工程学院 长春 ’ ()**+), 摘要 同时将 和 作为掺杂剂掺入 时 得到了具有良好特性的 +’*0)1,2 + )’+1,2 +’+1,2 +’+1, +’+1, + -./ 34/ 56/ 37/ 895: 3;/ B) 基 元件 在工作电流为 下 元件对 有良好的选择性 对浓度为 的 和 元件的分离度是 + = * (A(* + 5/D C E 3;/ 5/ ?@ 5/ 5/ C 3 3 + 天中元件有良好的稳定性= FGH* 关键词 掺杂剂 + 基 元件 低 温 选择性 稳定性 3;/ 5/ + IJKJLMNOPQOJ!# RLK!JKPMSPM%# T7.U6;V?7; 5W6;T7W.X Y.X;ZX[\. ’ 0 0 tuvvwu , ]^_ ‘abc^def‘ghdijdh^gd^kglbgmhg^^fhgm‘anhchgoghp qrkgmdrsg qrhgk xyKQMLNQ -./ ’*0) 1, / ’+ 1, ’+ 1, ’+ 1, ’+ 1, z{ 34 z{ 56/ z{ 37/ z{ X;9895: z{ z6|6}7?.:{X;6[.}:~ + + ) + + + 0 ![?[.;969{[3;/ {W6V[[9|[6|{~3;/ }6;}[|}X|6X{{X7;69 #W6}6;}[|}}W[z XW7VW}6:6!{7$7{~{[5/ + + H* * 0 VX}X;9\X$[|X4:6}{X47:7{~7; 9X~}[;{W6![;97{7[;[\ ?@ ) %J’PM(K 5[?[.;969 3;/ 4X}695/ }6;}[| T[z {6?6|X{.|6 36:6!{7$7{~ 3{X47:7{~ + 别表示元件在空气中和在还原性气体中的电阻值

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