一种新型加速度计地研究.pdfVIP

叮利?D广 一种新型加速度计的研究 T了)列2 p 方玉明 茅盘松 ’(东南大学微电子中心，南京2100贴) ＼ 摘要本文详细介警了一寸壁型结构的加速度计，介绍了其工作原理、 挠性轴的蛄构性能，曩后尔绍了它的工艺实现方法。 1前言 因此，理论上要求挠性轴越长、越窄、 加速度计是一重要的力学量传感器，它 越薄越好，但它要满足弹性条件与刚性条 主要用于感测运动物体的加速度，因此广泛 件。 用于工业、军事及民用等各方面。为了大批 弹性条件：要求挠性轴上的最大正应力 量生产，并能造出性能优越的器件，现多采 和挠曲时的最大剪切应力的综合应力，不超 用硅材料运用微机械加工技术来翻造。因此 过材料本身的许用应力【l】。 可预测，加速度传感器将在传感器市场中占 刚性条件：要求挠性轴的最大挠度小于 主导地位。 做挠性轴的材料所允许的最大挠度，即挠性 2工作原理 轴的最大相对挠度小于l％【纠。 本文介绍的是一种新型的电容平板振动 4工艺实现 式硅微加速度计，其结构如图l。板块由挠 下面给出的是这种硅／玻璃结构的加速 性轴连接到桥墩上，悬浮的平板下有两对电 度计的工艺流程，如图2所示。其中在板块 极：激励电极，电容电极。电容与平板之问 的制作中，挠性轴两边的板块长度不一样， 形成电容。‘工作原理是：当沿Z轴有加速度 使较长边的板块亦起到质量块的作用。在图 作用时，使质量块产生扭矩，引起板块扭 中可看出，四个电极中有一个电极面积较 转，从而使平板与下面的电极形成电容的电 大。玻璃与硅片分别加工后健合在一起。其 容值发生变化，依据该电容值的变化与加速 中，硅片上做出板块及挠性轴等，玻璃上淀 度问的关系，即可推算出加速度的大小。当 积4个电极。 该加速度计工作于闭环状态时，平板偏转所 产生的信号将反馈给与它集成在一起的控制 电路，既有不平衡电压输出到两个激励电极 上，使平板再平衡，这样便增加了加速度计 的测量范围和线性度。 3结构的理论设计 假定：(1)平板相对挠性轴是刚性的。 即平板的厚度要大大于挠性轴的厚度；(2) 挠性轴的抗弯刚度很高，扭转刚度很低，即 图1硅夕玻璃结构的加速度计 易扭转而不易弯曲。 -_--●--●●--—●-———————————--一一_●____-—— {。 t‘ “)_蚀出支承电囊 蠢■电极 (．)t璃上薰盒作出■瓴 a，)扩散支承