单工位金卤灯电弧管排气台排气头真空气路系统选用和设备研究.pdfVIP

单工位金卤灯电弧管排气台排气头 真空气路系统选用与设备研究 何荣开 f东南大学电光源研究中心南京210096) L 摘要 根据小功率金卤灯电弧管的注金卤丸注汞剞}气等工艺特点，设计其电弧管排气台，优化设计排 气真空系统，分析电弧管内在质量的影响因素及在设备设计时采取的措施。 关键词 金卤灯电弧管排气真空气路系统质量控制 金卤灯电弧管是灯的心脏．也是决定灯内在特性 气真空气路系统注金卤丸器注汞器等。 的关键。影响电弧管质量的因素很多．原材料的质量 2排气真空气路系统的设计和真空阀的选用分析 是主要的影响因素。如石英玻壳的羟基含量．玻壳内 表面吸附杂质气体的含景，电极本身质量和处理，填 2．1 排气真空系统的设计 充到电弧管内的金卤丸、液汞和氩气的纯度等。其中 金卤灯电弧管排气台的排气头气路系统设计．主 玻壳内气体的除气、注入电弧管内的金卤丸、液汞和 要可采用如下几种形式。其原理如图1所示。 氩气，都是在电弧管排气台上完成。因此电弧管排气 在几个气路原理图中．其充氩气系统的原理都是 台是小功率金卤灯生产的关键设备之一。 采用定量充氩气，即由两个流体阀和定量瓶构成。如 对于完成电弧管排气工艺的设备来说，现在所使 原理图气路1所示．先把流体阀2关闭，在定量瓶中 用的设备主要型式有：单工位电弧管排气台、多工位 充入一定压力的高纯氩气，再关闭流体阀1，此时排 长排车、多工位自动圆排机。本文主要介绍单工位 气系统已将电弧管内抽成真空f其气压可以忽略不 (单排气头双排气头)电弧管排气台的研究。 计)，然后打开流体阀2，把定量瓶中的氩气充入到电 弧管内，完成定量充氩气。在温度不变条件下，根据 1电弧管排气工艺的设计 公式PiW=BK，由于定量瓶和排气头抽真空区域 电弧管的排气一般采用冲洗工艺。把金卤丸注 的体积是恒定的，要使充入电弧管内的氩气压力准 入到电弧管内，对其进行烘烤除气。冷却后注入液态 确，充入定量瓶内压力值必须准确。因此充入定量瓶 汞，装在排气头上进行排气，到一定真空度后，再充入 中的氨气压力应该由高精度、无溢流、高洁净度的调 氩气、再排气，反复多次冲洗后。再定量充入一定压力 压阀来控制，其输出氩气压力误差在±3％，完全满足 的氩气．封离电弧管。 使用要求。 在注金卤丸器内，应充入高纯氩气保护金卤丸。 由原理图中看出．气路1由3个流体阀组成，其 金卤丸注入电弧管后。应在高纯度的氩气保护下进行 设计最简单扼要。气路2在排气头装卸电弧管时另 烘烤卤丸纯化处理，其烤丸的温度和时间应掌握适 外增加一路充氩气管路，保护排气头不受水气的污 中。注汞时也应处在高纯氨气保护下完成．并把定量 染。由于规管采用热电耦式．在冲洗氩气的气流直接 的高纯氩气吹入到电弧管内。氩气是通过排气头的 作用下。易损坏灯丝．因此气路3在排气侧有两个流 气路系统充入电弧管内．因此排气头气路系统的设计 体阀，把测量真空度的真空规管，设置在两个流体阀 和流体阀选用应考虑对氩气二次污染和压力准确性 之间。有效地保护规管。延长真空规管使用寿命。在 的影