微型双模式耐蚀压力传感器设计及特性分析（英文）.pdfVIP

第 28卷 第2期 传 感 技 术 学 报 V01．28 No．2 2015年 2月 CHINESEJOURNALOFSENSORSAND ACTUATORS Feb．2015 AnalyticalM odeling ofA M icroDual-modeM edia CompatiblePressureSensor YUJianping LIXin ，ZHANG Yuliang ，YAO Zhehe，ZHOU Zhaozhong ， ， (1．College MechanicalEngineering，Q=houUniversity，Q~hon324000，China； 2．TheStateKerl~lboratoryofFluidPowerTransmissionandControl，ZhejiangUniversity，Hangzhou310027，China) Abstract：Thispaperpresentstheanalyticalmodelingofanovelmicrodual—modepressuresensorwhichiscapable ofmeasuringstaticandtransientpressuresimultaneouslyundercorrosiveenvironment．Thesensoriscompromisedof aLTCC-based(1owtemperatureCO—firedceramic)piezoresistivemeasurementunitandaPDMS—based(polydimethyl— siloxane)capacitivemeasurementunit．Theuseofpiezoresistiveunitistoaccomplishstaticpressuremeasurement， whilethecapacitivemeasurementunitrealizestransientpressuremeasurement．Mathematicalmodelsoftheproposed piezoresistiveandcapacitivetransductionwerecalculatedrespectively．FE analyseswerealsoperformedtohelpin assessingtheimpactsofsensorstructureonmeasurementcharacteristicsintheprototypingexplore． Keywords：piezoresistive；capacitive；pressuresensor；lowtemperatureCO—firedceramic(LTCC)；polydimethy1si1ox— ane(PDMS) EEACC：7230 doi：10．3969／j．issn．1004—1699．2015．02．008 微型双模式耐蚀压力传感器设计及特性分析：{= 余建平 ，李 欣 ，张玉 良 ，姚钻赫 ，周兆忠 (1．衢州学院机械工程学院，衢州 324000；2．浙江大学流体动力与机电系统国家重点实验室，杭州 310027) 摘 要 ：本文提出一种微型双模式耐蚀压力传感器设计并分析其测试特性，能够实现静态力和瞬时力的同步测量。该传感 器由基于低温共烧陶瓷的压阻测量单元和基于硅橡胶的电容测量单元构成。并 由压阻测量单元实现静态力的测量，电容测 量单元实现瞬时力的测量。文中分别计算了压阻测量单元和电容测量单元的数学分析模型，并通过有限元仿真研究传感器 的静态特性和模态响应，考量传感器结构参数对其测量性能的影响。 关键词 ：压阻式；电容式 ；压力传感器；低温共烧陶瓷；硅橡胶 中图分类号：TH823 文献标识码 ：A 文章编号 ：1004-1699(