一种新型硅电容式流速流向传感器的设计.pdfVIP

第19卷第5期 传感技术学报 v01．19No．5 2006年10月 CHINESEJOURNALOFSENSORSANDACTUATORS 0ct．2006 of aNovelSilicon FlowSensor Design Capacitive WE，Ze-wen，QINMing’，HUANGQing—an 210096，China) (KeyLaboratoryofMEMSofMinistryofEducation，SoutheastUniversity，Nanjing Abstract：Basedonbulk novelflowsensoriSintroducedWhereacolumnstructurecon— micromachining，a vertstheflow anddirectionto senseis fouror- velocity displacement．Displacementaccomplishedusing structure were the of thogonal calculated，and capacitors．Theparameterstheoretically outputcapacitance thisdevicewas bvFEA(FiniteElement given Analysis)methods． Key words：Micromachining，Silicon，FlowSensor，Capacitive EEACC：2575D；7230M 一种新型硅电容式流速流向传感器的设计 魏泽文，秦 明+，黄庆安 (东南大学MEMS教育部重点实验室，南京210096) 摘 要：设计了一种基于体微机械加工技术的新型硅电容式流速流向传感器．这种传感器由圆柱型阻流体和支撑梁构成，这 种结构将流体的流速流向信息转化为阻流体的位移，通过四组正交电容来测量位移，从而得到流体的流速和流向．理论计算 了传感器的结构尺寸并利用有限元分析方法计算了传感器的电容输出． 关键词：微机械；硅；流速流向传感器；电容 中图分类号：TN36 文献标识码：A 微机械在测量流体的流速、流量和流向等方面 用．非热式微流体传感器则可以克服上述缺点．非热 有着巨大的应用前景．目前，测量流速、流量和流向 式微流体传感器的原理主要是通过测量与流速相关 flow 的器件按原理主要可以分为热式(Thermal的力学量来得到流速流量信息，这些力学量包括：粘 flow sensor)和非热式(Non—thermalsensor)两 种[1]．Van Putten等人在1974年提出了第一个基然，非热式微流体传感器也有其固有的缺点．目前的 于硅微加工技术的流量传感器[2]，这个传感器的工 非热式微流体传感器最主要的缺点就是尚未能使用 作原理就是基于传热的．热式微流体传感器有很多 单个传感部件实现对二维流向的测量． 优点，例如可以实现CMOS工艺兼容、测量较为简 本文提出了一种基于电容测量的非热式二维流 单、工艺容易控制等，而其中最主要的优点是热式微 速流向传感器，并对其电容输出进行了理论计算和