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四J1I省电子学会传感技术专委会第11届学术年会会议论文 光纤光栅湿度传感器初探 曾传卿 (中国工程物理研究院总体：[程研究所传感器研究室，四川绵阳，621900) 【摘要】；介绍了光纤光栅湿度传感器的种类、原理和研究现状，对光纤湿度传感器的特点进行了比 较，预测了光纤湿度传感器的发展趋势。 【关键词】；光纤湿度传感器；光栅湿度传感器 引言 随着一L=农业的发展和科学技术的进步，湿度测量显得越来越重要，国防科技、航空航天、发电变电、 纺织、食品、医药、仓储、农业等行业对湿度都有非常严格的要求，对湿度传感器的环境适应性以及测 量范围、响应速度、测鼍精度等主要指标的要求也越来越高。传统的电容式、电阻式等电量湿度传感器， 由于测量精度高、响应速度快以及信号易于处理和控制等优势，在市场中占据了主导地位，但存在着长 期稳定性和互换性差、不能在严重污染和强电磁干扰环境下工作，以及只能单点测量的严重不足。 为发挥非电量湿度传感器的防污染、抗电磁干扰、本质安全(即阻燃、防爆)，以解决国防科研、石 油化_1：、电力、纺织等领域的易燃、易爆和强电磁干扰环境中进行湿度测量与控制的难题。促使人们去 研究新型非电麓湿度传感器。而光纤湿度传感器为这些难题的解决提供了一条很好的途径。 l湿度传感器的分类 光纤湿度传感器分为三种：光纤传光式湿度传感器，光纤传感式湿度传感器以及光纤光栅式湿度传 感器。 光纤传光式湿度传感器的基本：J==作原理是：当不同湿度的空气与湿敏薄膜接触后，湿敏薄膜的光学 参数会发生改变，通过测鼍湿敏薄膜光学参数的变化即可获得相应的湿度。根据湿敏薄膜的反应原理， 光纤传光式湿度传感器义可分为基于光吸收的湿度传感器和基于荧光效应的湿度传感器。 光纤传感式湿度传感器是以光纤作为敏感物质。先将单模光纤的中间部分拉制成锥形，且锥形的束 Sel 腰直径保持一定距离不变(类似“哑铃型”)，束腰处外包层采用ESA(Electrostatic Assembly，静电 自组装)材料，再在外包层外涂覆一层湿敏双层复合聚合物材料的涂覆层。光纤传感式湿度传感器的测 量原理是：测量时将光输入光纤，光纤包层采用紫外光固化，其相关损耗只与温度有关，而光在锥形结 构处的损耗还与外包层、涂覆层的厚度、湿度有关，通过光纤输出功率检测就可获得相应的湿度。 光纤光栅式湿度传感器义分为光纤布拉格光栅湿度传感器和长周期光纤光栅湿度传感器。光纤光栅 式湿度传感器是通过测量波长的变化来获得相应的湿度，其测量精度更高，测量速度快。本文着重介绍 光纤光栅式湿度传感器。 2长周期光纤光栅湿度传感器 长周期光栅的响应波长随相对湿度变化。典型的长周期光纤光栅湿度传感器系统如图1所示。测试 系统由长周期光纤光栅湿度传感器、宽带光源、恒温恒湿箱、和光谱分析仪组成。长周期光栅用一个二 一层水凝胶感湿薄膜。凝胶的成分包括丙烯酸、乙烯基吡啶、过氧化苯甲酰以及N、N’一二甲基双丙烯 酰胺。丙烯酸和乙烯基吡啶的折射率分别是1．4224和1．5530。通过调整丙烯酸和乙烯基吡啶之间的比例， 并暴露于紫外线灯的紫外光中，可以得到具有适当折射率(高于包层折射率)的水凝胶。水凝胶涂层艮周 期光栅固定在V犁槽中，并放在在恒温恒湿箱中，温度和相对湿度都是可调的。在测试中，温度维持在 25℃±2℃。长周期光栅一端连接到一个放人的自发辐射(ASE)光源(C波段)，而另一端连接到具有O．1 70 四川省电子学会传感技术专委会第11届学术年会会议论文 rim光谱分辨率和-45dBm灵敏度的光谱分析仪。 图1长周期光纤光栅湿度传感器系统示意图 图2和图3示出长周期光栅对不同的相对湿度的光谱响应和峰值波长。随着相对湿度增加，响应波 长向更短的波长方向移动，谐振的倾角增加；这就是说，耦合强度增加。在相对湿度38．9％时，谐振波 长为1554．9nm(图2中的曲线a)，在相对湿度100％时移动到1543．6nm(图2中的曲线f)。在这些相对 湿度范围之间谐振波