一种光学材料高效超精密加工方法.pdfVIP

中国机械工程第 19卷第 21期 2008年 u 月上半月 一 种光学材料高效超精密加工方法 尹韶辉 大森整 林伟民。 上原嘉宏。 陈逢军 朱科军 1．湖南大学国家高效磨削工程技术研究中心，长沙，410082 2．日本理化学研究所，东京，351—0198，日本 3．日本秋 田县立大学，秋 田，015—0055，日本 摘要 ：提 出了结合磁流变光整加工(MRF)与在线电解修整 (ELID)磨削对各种光学材料进行超精 密加工的方法，即采用ELID磨削进行预抛光以获得高质量表面，然后采用 MRF进行精密抛光以进一 步减小表面粗糙度和形状误差。利用该组合工艺对 BK7玻璃、硅晶玻璃、碳化硅等光学材料进行 了超 精密加工实验，可以在短时间内使光学材料工件表面得到亚纳米级的表面粗糙度和峰谷值为A／20(为 单位波长，一632．8nm)的形状精度。 关键词 ：ELID磨削；磁流变光整加工 (MRF)；超精密组合加工 ；形状精度 ；表面粗糙度 ；光学材料 中图分类号：TG58 文章编号 ：1004--132X(2008)21—2540—05 A HighEfficientUltra— precisionSynergisticFinishingProcessforOpticalMaterials YinShaohui OhmoriHitoshi。 LinWeimin。 UeharaYoshihiro。 ChenFengjun ZhuKejun 1．NationalEngineeringResearehCenterforHigh EfficiencyGrinding， HunanUniversity，Changsha，410082 2．TheInstituteofPhysicalandChemicalResearch，Tokyo，351 0198，Japan 3．AkitaPrefecturalUniversity，Akita，015—0055，Japan Abstract：Anultra— precision synergisticfinishingprocessintegratedtomagneto— rheological finishing (M RF)and electrolyticin— processdressing (ELID)grindingwasproposedforshortening totalfinishingtimeandimprovingfinishingquality．A lotofnano— precisionexperimentswerecarried outtogrindandfinishsomeopticalmaterialssuchasglass，silicon，siliconcarbide，etc．ELID grind ing．aspre— finishing，wasemployed to obtain high efficiency andhigh surfacequality；and then， MRF，asthefinalfinishing，wasemployedtoimprovefurthersurfaceroughnessandform accuracy．In general，form accuracyof~a,／20( isawavelenghtunit，一632．8nm)peak—to—valley (P—V)and surfaceroughnesslessthan10Angstrom unitareproducedinhighefficiency． Keywords：electrolyticin—processdressing (ELID)grinding；magneto rheologicalfinishing (MRF)；ultra—precisionsynergisticfinishingprocess；form accuracy；surfaceroughness；opticalma— terja】 O 引言