一种谐振式加速度传感器及其设计.pdfVIP

中国机械工程第 19卷第 21期 2008年 11月上半月 一 种谐振式加速度传感器及其设计 郭 占社 樊尚春 庄海涵 北京航空航天大学，北京，100083 摘要 ：为解决当前模拟输出式加速度传感器测试精度相对较低的问题 ，利用谐振式传感器重复性 好 、分辨率高、稳定性优 良的特点，设计 了一种谐振式加速度传感器。通过理论计算，得 出了线加速度与 敏感元件谐振频率之 间的关系，并通过有限元软件对其进行 了仿真计算。计算结果显示，传感器在空载 状况下谐振频率的理论计算结果与有限元分析结果分别为 722．2Hz与 720．87Hz。在 1g加速度下两 种计算方法得到的谐振频率计算结果分别为 727．3Hz与 726．28Hz，两种情况的相对误差仅为 0．18 与0．14 。对加工完毕的加速度传感器进行了测试，测试结果表明：在谐振状态下，传感器的敏感元件 的谐振频率大约为 718．2Hg，与理论计算及仿真结果基本接近，证明了设计的正确性。 关键词：谐振式加速度传感器；有限元；谐振频率；敏感元件 中图分类号 ：TH117．3 文章编号：1O04—132X(2008)21—2570一O3 A ResonantAccelerometerand ItsDesign GklOZhanshe FanShangchun ZhuangHaihan BeihangUniversity，Beiiing，100083 Abstract：A resonantaccelerometerwasdesignedin orderto overcomethelOW outputprecision characteristicsofthesensorswhichweretestedwithanalogsignals．Thisacceleratorhastheadvanta gesofgoodrepeatability，highresolutionandexcellentstability．Relationshipbetweenthelinearac— celerationandtheresonantfrequencyofthesensingunitwasdeducedandthefiniteelementmethod wasusedtOsimulatethecorrectnessofthetheory．Thetheoreticalresultand simulation resultare 722．2Hzand720．87Hzrespectivelywithoutaccelerationisappliedonthissensor．W hen1gaccelera— tioniSappliedon thissensor。thetheoreticaland simulation resultsare727．3HZand726．28HZand therelativeerrorsare0．18 and0．14 respectively．Finally，thefabricatedsensorwastested．The measuredfirstorderresonantfrequencyiS718．2Hz．whichiSveryclosetothetheoreticalandsimula— tionresult．TheresultsindicatethatthisdesigniSfeasible． Keywords：resonantaccelerator；finiteelementmethod；resonantfrequency；sensingunit 0 引言 1 结构及工作原理 加速度传感器是一种专用于对运动载体运动 加速度进行测试 的传感器，在航空航 天、汽车工 具有差动输出特性的谐振式加速度传感器总 业 、工业 自动化及机器人等领域具有广阔的应用 体结构简图如图1所示，该传感器主要用于测量 前景。常见的加速度传感器按其敏感原理的不同