移动Ni-5W基带上制备钇系涂层导体隔离层的研究.pdfVIP

第 32卷 第5期 稀 有 金 属 2008年 l0月 Vo1．32№ ．5 CHINESEJOURNALOFRAREMETALS 0ct．20o8 移动 Ni．5W 基带上制备钇系涂层导体隔离层的研究 刘慧舟 ，杨 坚，张 华，古宏伟 (北京有色金属研究总院超导材料研究中心，北京 100088) 摘要：采用电子束蒸发和磁控溅射两种工艺在移动的Ni．5W合金基带上制备了Y：0，隔离层，研究了镀膜过程中基带移动速度对隔离层性能 的影响，同时详细比较了两种镀膜方法。利用扫描电镜、X射线衍射等手段对YO 隔离层进行了分析。结果表明：通过严格控制工艺条件 ， 两种方法都能在移动 Ni-5W合金基带上制备高立方织构、表面致密光滑的Yz03隔离层。研究发现，电子束蒸发工艺中，理想的基带移动速 度是0．4～1．0mm·sI1；磁控溅射工艺中，适宜的基带移动速度应该是 0．5～2．0Bin·s一1。 关键词：涂层导体；连续沉积 (隔离层)；Y：O；电子束蒸发；溅射 中图分类号：TM26 文献标识码：A 文章编号：0258—7076(2008)05—0627—04 涂层导体 (又称第二代高温超导带材)是指以 设备展开了在移动Ni．5W合金基带上制备 YO，隔 YBCO．123钇系超导材料为主的稀土类钡铜氧化物 离层的研究，本文主要讨论了Ni．5W合金基带移 超导带材。与第一代 Bi系高温超导材料相比，钇 动速度对 Y：O，隔离层结构的影响。 系涂层导体具有较高的不可逆温度场，其临界电 流密度在外加磁场下没有严重的退降…。但是，由 1 买 验 于YBCO特殊的物理冶金特性，使其很难像 Bi系 1．1 准备基带 材料那样采用 OPIT(银包套)法制成线材。另外， Ni．5W(质量比)合金由于具有优 良的机械性能 由于YBCO材料的晶粒弱连接 问题，人们一直致 和弱磁性，是较理想的涂层导体用基带材料。将数 力于使材料中的晶粒取向分布一致，即形成较强 米长具有光滑表面和立方织构的Ni一5W合金基带 的立方织构，减少或消除在传输 电流路径上的大 (宽度 1cm，厚度 80／lm)安装在连续镀膜设备上， 角度晶界的研究|2]。其中，“轧制双轴取向金属基 通过计算机控制软件，使基带能够平稳匀速地往 带(RABiTS)”法受到了广泛关注，其原理是利用轧 复移动，速度在 0．1～10mm·s 范围内可调。 制一再结晶热处理工艺先制备出具有立方织构的Ni 1．2 镀膜 合金基带，再在其上外延生长氧化物隔离层及YB． 利用电子束蒸发和直流反应溅射在移动的Ni一 CO高温超导层。其中，隔离层的作用是防止基底 5W合金基带上制备 YO，隔离层，蒸发料和靶材 高温氧化生成 NiO、阻止 YBCO和Ni合金之间发 生互扩散和诱导YBCO超导层形成立方织构 3【引。 均由纯度99．9％的金属钇制成。其中，电子束蒸 发是在 HO气氛环境中进行，气压范围(3～7)× Y：O。化学性质稳定，与Ni有较好的晶格匹配 和相近的热膨胀系数，被认为是一种优 良的隔离 l0。Pa， 镀膜温度700—800℃；直流反应溅射在 层