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(2) 非接触模式：是指探针离样品表面上面并有一定距离，始终不与样品接触，这时微悬臂电压陶瓷器件产生高频振动，频率接近其固有振动，针尖与样品间的相互作用力对其距离的变化将会直接影响到微悬臂的振动频率及振幅， 用光学方法测量振幅的变化就可得知探针与样品表面作用力的变化，即可测得样品，形貌等。 但由于针尖和样品之间的距离较长，分辨率较接触式低，而且操作也相对较难，所以非接触模式目前基础上未被采用。 (3) 轻敲模式中，探针在样品表面上以接近微悬臂固有频率振动，振荡的针尖交替地与样品表面接触和抬高，这种交替通常每秒钟5×104～5×105次。 针尖与样品接触可以提高分辨率，针尖抬高离开样品时，可避免在表面形成拖刮。这一模式也是利用压电陶瓷通过微悬臂振动实现的。 它结合了上述两种模式的优点，既不损坏样品又有较高的分辨率，可适用于生物大分子、聚合物等软样品的成像研究，对于一些与基底结合不牢固的样品也降低了针尖对表面结构的搬运效应。 另外还有两种工作模式： 插行扫描模式和力调制模式 2.2 原子力显微镜的装置 和STM一样，AFM也有： 振动隔绝系统 机械系统 针尖系统 电子系统 和计算机系统几个大的部分组成。 其关键部分仍是针尖系统。 这里，针尖感受的不是隧道电流，而是原子间的相互作用力，因此它由带针尖的力敏感元件和力敏感元件运动检测系统构成，其反馈电路也用于临控力敏感元件的运动。 AFM对于隔绝振动，样品逼近，扫描和反馈控制，计算机图像存储和处理以及显示系统等方面，可利用STM技术稍加改进。 但微悬臂及其针尖是AFM所特有的，并且是技术成败的关键之处，所以我们主要介绍AFM力传感器上的微悬臂及其针尖 AFM微悬臂要求： ①相对低的力常数，即受到很小的力就能产生可检测到的位移。（K = F/ΔZ） ②为了得到与STM相当的数据采集速度和成像带宽，要求微悬臂的共振频率应大于10KHZ。 ③对微悬臂横向刚性的要求是减小横向力的影响，以防止图像失真，故通常将微悬臂制成V字形，以提高横向刚性。 ④如果采用隧道电流方式来检测微悬臂的位移。其背面必须要有金属电极。 若采用光束偏移法时，则要求微悬臂的背面有尽可能平滑的反光面。 一般SiO2，Si3N4表面。 综上所述，为了准确反映样品的形貌和尽可能提高仪器的刚性，力传感器要满足以下要求： ①低的力弹性常数 ②高的力学共振频率 ③高的横向刚性 ④短的微悬臂长度 ⑤传感器带有镜子或电极 ⑥带有一个尽可能尖的针尖 1987，美国斯坦福大学制成了V型SiO2微悬臂及针尖传感器，这种传感器没有外加针尖，而是利用微悬臂的V字形尖端作为针尖。 见图3.7 1989，他们又研制成了尖端带有金字塔形的针尖的V字形Si3N4微悬臂。见图3.9 2.3 AFM的应用 ①纳米材料的形貌测定 AFM不仅可用来直接表征导体、半导体的形貌，还可以直接用于绝缘体样品的研究。 人们已经获得了许多材料的原子级分辨图像。 此外还可对纳米材料进行表征。例如，纳米颗粒、纳米薄膜和纳米管等。 ②纳米尺度的物性测量 对纳米尺度的物性研究有助于人们的进一步认识纳米世界的运动规律，运用这些性质来设计和制备下一代纳米器件。 AFM为研究这些局域现象提供了强有力的技术支持 例如： 利用AFM可以测量材料的电学特性， 人们可测量碳纳米管等电学性质、单分子的导电性等。 利用AFM研究纳米机械性质，可测定表面微区摩擦性质、微区硬度、弹性模量等。 ③生物材料的研究 AFM不仅可以对生物分子进行高分辨成像，而且还可以对生物分子进行操纵。 我国科学院原子核所成功利用AFM对DNA 生物分子进行切割 ，弯曲，推拉等分子操作在云母基片写出了DNA ( 4) 纳米结构加工 利用AFM针尖与样品之间的相互作用力可以搬动样品表面的原子、分子，而且可利用此作用力改变样品的结构，从而对其性质进行调制。 例如：将带有巯基的分子吸附在AFM的针尖上，在金基底上刻写单分子膜的线条和点阵（蘸笔纳米刻蚀技术, Dip-pen Nanolithography) 1.2.4 隧道针尖 隧道针尖是STM技术关键之一。 针尖的大小，形状及其他物理、化学性质直接与STM的图像分辨率，图像形状及测定的电子态有关，从而决定着一台STM的最终质量及使用。 理想的针尖宏观结构不