铜铌溅射型超导QWR的研制及其实验.pdfVIP

铜铌溅射型超导QWR的研制及实验 郝建奎赵夔 张保澄谢大林王莉芳全胜文沈子林 鲁向阳 谢大驶朱风 向蓉孟铁军 黄森林谷安佳 陈佳洱 (北京大学重离子物理研究所，北京10087I) 摘要超导谐振腔是超导加速器的关键部件．用于重离子超导加速器的低13加速腔的最佳 选择是四分之一波长谐振腔(QWR)。利用无氧铜为基底，溅射一层几微米厚的铌膜，可咀 获得极好的超导性能和加速离子性能。但是，四分之一波长谐振腔的内表面复杂，溅射均 匀的铌膜比较田难。针对此难题，发展了一种多参数可调节的溅射方法，在大型谐振腔腔 体内，成功地制备了一层均匀的、超导性能优异的铌膜。低温实验和质子载束实验表明铜 铌溅射超导腔的性能良好． 关键词薄膜超导腔溅射OWR低温实验 l引言 超导加速腔已经越来越多地应用于加速器中。超导加速器多为铌腔。铌具有良好的超导特性， 但是其热导很低。低的热导将导致腔的热不稳定性，使得腔体内表面的局部温度升高，引起热失超。 为提高热稳定性，需要提高腔体材料的热导。在高热导材料腔体表面镀上一层几微米厚的超导薄膜 是一种有效的方法。无氧铜具有良好的热导，在低温下比铌的热导大一个量级，因而如果采用无氧 铜谐振腔作为基底制备一层超导铌膜，能大大改善超导腔的热导，同时也降低了造价。薄膜型超导 腔有多种，如铜镀铅腔、铜铌复合腔和铜铌溅射腔等。溅射产生的铌膜具有膜层致密．膜厚均匀， 附着性好等优点，因而铜铌溅射腔是目前研究的前沿热点。欧洲核子中心(CERN)和意大利 INFN．LNL实验室对铜铌溅射腔的研究处_丁世界前列”’“。 中国原子能科学研究院己开始准备建造北京放射性核束装置口l，其后加速器准备采用超导直线 加速器。北京大学重离子所进行了大量的射频超导实验研究，并于1994年成功地研制出我国第一 只国产纯铌超导腔．具有丰富的经验，承担了重离子超导加速腔的研制。与其它重离子加速结构相 Wave Resonator，简称QWR)有许多优点”J．因而成为超导直线 比，四分之一波长谐振腔(Quarter 加速器的首选加速结构。 铜铌溅射腔的关键技术是在无氧铜腔的表面制各一层均匀致密、超导性能良好的铌膜。QWR 内表面形状复杂，按照常规方法溅射形成的铌膜不均匀性严重。通过大量实验研究，发展了一种“变 参数直流偏压溅射方法”，研制成功锟膜均匀性好、超导性能优异的QWR，为QWR的大规模使用 奠定了基础。 本文介绍北京大学射频超导实验室对铜铌溅射超导QWR的研制及相关实验。 2直流偏压溅射装置及实验方法简介 QWR的特殊形状使得它很难用磁控溅射来进行镀膜。QWR的内表面结构比较复杂．中心导体 的外表面与外导体的内表面均需制备一层儿微米厚的铌膜。尽管磁控溅射以其高沉积速率、低的放 电势和低的工作气压而被广泛采用．但对于QWR的溅射，与直流溅射相比也有其不足【6】。磁控溅 射的冷却系统比直流溅射更复杂。因而我们选择了结构简单的直流二极溅射。 北京大学重离子所射频超导实验室自1996年开始研究重离子超导加速腔，1997建成了一套直 流偏IK,2-极溅射装置。整个系统包括超高真空溅射室、真空系统、进气控制系统、电源以及残余气 体分析设备等。高纯铌靶采用电子束焊制成，作为阴极，位于腔的内导体和外壁中间，上面加负高 压。腔体作为基底，同时又是阳极。为使束孔附近的电场分布均匀，采用了辅助电极以及附加的外 壁支撑腔体。圈1是整个溅射装置结构图。溅射室采用全金属密封，本底真空可达1017Pa。 北京托学超高真空遣_．|摹置 I一；： 口 。 口 图】直流偏压溅射系统结构圈 用氩气作为溅射气体，通过质量流量计控制气体流量恒定。残余气体对成膜性能有髟响，采用 四极质谱仪分析其成分，以提高铌膜质量。测量基底温度的变化以分析其对铌膜的影响． 为获得正确的参数．进行了大量模型腔样片实验。溅射时，把石英片和硅片置于模型腔内表面 不同位置，便得到了谐振腔中的铌膜分布．通过测量样片铌膜的