Zr基非晶合金微塑性成形工艺的研究.pdfVIP

第37卷 增刊4 稀有金属材料与工程 V01．37，Suppl．4 2008年 lO月 RAREMEl’ALMATERIALSANDENGⅣEERING October2008 Zr基非晶合金微塑性成形工艺研究 郭晓琳1，马明臻2，单德彬1，王春举1，郭斌1 (1．哈尔滨工业大学金属精密热加工国家级重点实验室，黑龙江哈尔滨150001) (2．燕山大学亚稳材料制备技术与科学国家重点实验室，河北秦皇岛066004) 摘要：研究了Zr41．2Til3．8Cul2．5NiloBe225块体非晶合金(Vit．1)在370-430℃区域内等温压缩变形行为，获得其高温粘 性流变规律。利用透射电镜分析Vit．1在370℃时应变软化及420℃时应变强化现象。根据所确定的高温变形工艺参数， 使用快速加热精密微塑性成形系统进行了Vit．1微型齿轮成形试验，研究不同温度及载荷下的齿轮成形工艺。利用扫描 电镜、原子力显微镜和显微硬度计对成形件的表面形貌和性能分析结果表明，在温度395℃及载荷350N条件下成形 出的非晶合金微型齿轮性能均匀表面光洁度好，利用此微成形工艺可以获得质量良好的微型零件。 关键词：块体非晶合金；流变行为；微成形系统；微型齿轮 中图法分类号：TGl39+．8 文献标识码：A 文章编号：1002．185X(2008)$4．769．04 块体非晶合金具有高强度、高硬度、高耐磨性、高 实验材料选用燕山大学提供的 耐蚀性等优异的物理、化学及力学性能【l叫，在国防装 备、精密机械、生物医用材料、电子信息零件、化工等 利用PerkinElmerDSC7差热分析仪测量铸态非晶的玻 领域有重要的应用价值。块体非晶合金不仅具有优异的 璃化开始温度疋为353．2℃，晶化开始温度瓦为445．5 使用性能，而且在过冷液相区一定条件下呈应变速率敏 ℃，过冷温度域范围彳r为92．3℃。所有坯料均采用电 感性指数m=l的超塑性状态，流动变形抗力很低[4--。7】。火花线切割，实验前对试样两端面进行抛光处理。选 近来，各国学者对非晶材料在过冷液相区的变形行为进 取直径为4mm，高度为6mm的坯料进行热压缩实验， 行了广泛研究。Kawamura[札121、Lu[131、Johnson[141及以研究不同温度对非晶材料流变行为的影响规律。热 Chant”】等学者研究表明zr基非晶合金高温流变行为可 分为牛顿粘性流体和非牛顿粘性流体。Niehtl61、Lee[171 程均在真空度为10。Pa的条件下进行。并且为了保留 及Shentl8]等学者研究表明在超塑性流变过程中加载应高温变形组织，采用水淬冷却方式。利用JEOL．3010 力可以诱发纳米晶化。另一方面，微成形技术是一个新 兴的研究领域，它适用于微机电系统(MEMS)等微小℃高温变形试样的微观组织，对于其他高温变形后试 零件的批量制造，可成形各种复杂形状的微小零件，将 成为微型机械制造领域内的发展趋势。由于非晶材料在 完成。微型齿轮选取坯料直径为0．65mm，高度为lmm。 过冷液相区表现出优异的超塑性成形性能可用于成形 成形实验设备在自行研制的精密微成形系统进行【冽。 各种微型零件【1蜕31。因此有必要对非晶材料微成形工 利用自行设计的微型齿轮浮动模具进行了齿轮成形实 艺及变形机理开展深入研究。 本实验为了研究非晶材料微成形工艺，首先分析 镜(SEM)对成形件表面形貌进行观察和分析。 其在不同温度下的流变行为，得到了最佳成形温度区 2结果与讨论 间。在选定温度区域内评价微型齿轮在不同载荷下的 填充质量，以此得到最优工艺参数。并对成形件进行 图1为铸态Vit．1在应变速率为l×10。3s～，加热温 表面粗糙度和显微硬度测量。 行热压缩试验所得真实应力．应变曲