多波形脉冲电镀应用的研究.pdfVIP

多波形脉冲电镀应用研究 东莞生益电子有限公司 刘攀 摘要：脉冲电镀以其优秀的深镀能力和镀铜效率成为了高厚径比PCB镀铜领域的发展主流，随着品 质控制及制造成本要求的不断提高，脉冲电镀深镀能力的稳定性及有效利用已经成为新的研究方向。 本文通过单波形脉冲参数研究确定了维持脉冲电镀药水稳定性的最优控制参数，同时通过多波形脉 冲电源输出参数与不同难度PCB特征控制研究给出了多波形脉冲电镀应用控制方法，为多波形脉冲 电镀在PCB酸性镀铜领域的多元化及精细化控制提供了方向性指引。 关键词：脉冲电镀；深镀能力；镀铜效率；多波形；精细化 A ontheMulti-waveformPulse study Electroplating Electronics DongguanShengyi Ltd．LIUPan Abstract：Pulse anexcellentsolutionfor of Electroplatinggave copperplatinghighaspect to the ona levelandhowtouseit ratioPCB，How keep throwingpower good effectively is anewresearchdirectioninPulse articleabest becoming Electroplating．Thisgave ofthe basedon anew incontrol parameterspulseelectroplatingresearch，alsogave way Multi—waveformPulse Electroplating． Multi-waveform ThrowingpowerPlatingefficiency Subtly Keywords：Pulseelectroplating contro】 1、立项背景 近年来，脉冲电镀以其优异的镀铜能力和镀铜效率成为了高厚径比PCB镀铜领域的 发展主流，对于不同脉冲波形在电镀过程的应用也从未停止过，而从脉冲波形的研究来 看，常见的有方波、三角波、锯齿波、阶梯波等： 表1．常见脉冲波形 方波 三角波 锯齿波 阶梯波 h m『] 刃／ ／／1／／1／／1 1一一一 目前不同脉冲波形对镀层性能影响的内在规律尚不十分清楚，也无法从电化学理论 上提出对控制波形的明确要求。因此，只有根据现有的实践经验提出确定脉冲波形的几 点原则： ①实镀效果实镀效果是确定脉冲波形的首要原则，如实镀效果不好无法做为脉冲 的选定波形。 ⑦易于分析研究 为了使脉冲技术更好地服务于生产，需要对脉冲波形进行分析、 研究，总结出其内在的规律甚至是具体的数学计算公式。如果脉冲波形太复杂，则分析 起来就会很不方便。因此，脉冲波形应该具有最简单的几何形状。 o易于获得和调控波形越复杂，产生就越困难，设备投资就越大，越难在工业生产 中推广应用。 ④便于推广太复杂的波形，不仅分析总结起来比较困难，对脉冲技术的推广和脉 冲知识的普及也会增加一定的难度。因此，只有简单易懂的脉冲波形及其相应的理论性 知识才易于被更多的使用者所接受。 从以上的几点分析来看，方波脉冲最符合要求，因