离子束辅助沉积技术制备非晶合金薄膜.pdfVIP

第22卷 增刊 真 空 科 学 与 技 术 2002年 VACUUMSCIENCEANDTECHNOLOGY(CHINA) 离子束辅助沉积技术制备非晶合金薄膜 潘 峰，曾 飞，赵 斌 (先进材料教育部重点实脸室，清华大学材料科学与工程系，北京 100084) GrowthofAmorphousAlloyFilmsByIonBeamAssistedDeposition PanFeng,ZengFei,ZhaoBin (LaboratoryofAduancedMaterials,DepartmentofMaterialsandEngineering,TsinghaaUniversity.Beijing100084China) AbstractSomeamorphousbinaryalloyfilmshavebeensuccessfullygrownbyionbeamassisteddepwition(IBAD).Themot phologyandstoichiometryofthefilmswerestudiedwithtransmissionelectronmicroscopy(TEM).Amorphousphasewasfoundto dominatesinthefilmsofallselectedbinaryalloysystems.Theresultsshowedthatphaseformationofthefilmsisstronglyaffectedby theformationheat,crystallinestructuresofthemetalcomponentsandionbeamenergies.Observationofsomenewmeta-stablephases andphaseevolutionindicatesthatthephaseformationmechanismoftheIBADbinaryalloyfilmsmaysignificantlydiffersfromthatof thefilmsgrownbyionmixingofmulti-layers(IM) Keywords Ionbeamassisteddeposition,Amorphousalloy,Film 摘 要 本文阐述了用离子束辅助沉积OBAD)技术制备非晶合金薄膜的基本思路，介绍了本研究组在二元合金系统里 制备非晶和亚称晶相的研究结果。研究发现，在所选的几个系统里采用IBAI)技术均实现了非晶化，还发现了某些新相形成 和相演化现象，表现出与多层膜离子束混合(IM)不同的相形成规律。二元系统的形成热、组元金属的晶体结构和辅助离子束 的能(t对相的形成均有重要的影响。这些研究表明IBAD技术在二元合金系统中制备与研究非晶合金薄膜以及亚稳晶态薄 膜方面具有很大的应用前景和理论意义。 关锐词 离子束辅助沉积 月卜 薄膜X 中圈分类号:0751,TG139 文童 文t编号:0253一9748(2002)增一001一04 多层膜离子束混合((IM)和固态反应(SSR)技 远离平衡状态到达某个平衡态或亚稳态，从而使薄 术目前在二元金属系统中研究非晶相和亚稳晶相取 膜或材料表面发生结构或组织的变化。所以离子束 得了很大的成果，已经在很多系统中获得了非晶相 辅助沉积技术从物理过程看可以用于非晶态和亚稳 和亚稳晶相川。但是如果要得到较厚的非晶及亚 晶态的制备。该技术的离子束从商用离子加速器上 稳晶相薄膜，多层膜离子束混合技术必须有很大的 大约几十kV即可获得，理论上可以制备任意厚度 离子加速装置— 高达几百kV以上，这样就限制 的薄膜;另外，与固态反应技术相比，离子束辅助沉 了它们的应用前景。而对于固态反应技术，需要在 积技术可以在任意温度下进行，利用该技术可以使 高温下退火，而很多时候并不希望这种情况发生，比 非晶态及亚稳晶态合金薄膜应用前景成为现实。 如工件或基片可能会在退火的过程中出现结构变化 目前离子束辅助沉积技术广泛用于各种超硬薄 或与薄膜反应。离子束辅助沉积是一种利用离子束 膜的制备[2