基于XRD的涂层界面结合强度的实验的研究.pdfVIP

第28卷增刊i 北 京科技 大 学学报 Vol 28Sep吐1 2006$仲月 Journal Oct2006 ofUnivm时ofSciencejndTHhno]og)B州ing 基于XRD的涂层界面结合强度的实验研究 孔德军 张永康 鲁金忠 冯爱新 n#^}n*TR}RnⅡ212013 擅璺利用x射线衙射技术(xRD)测试，凉层及其基件材料的戍力艘其变化规律，建i丫一种游层结古界面戍力持 测系统．进行界面结台状态的检测研究分析了x衍射法测量涂层界面结合强度的厦目、方法与过8，其检测涂层* 面结台强度方往WH试样进行非接触橹■，适用f晶体或多晶体溶K的界面结台％度测量．甜立一种研究检掰潍层镕 e§度的实验新方法 关t词结合强度．x衍射法(XRD)；凉层；残余席力 7444 分娄号TGI 残余戍力是涂层制蔷过程中存在的普遍现象． 足影响涂层与基体结台强度的主要田索之一【11残 余麻力在涂层内贮存了大量的弹性能．井作用于涂 崖与基体的界面上。弹性能报大时会导致涂层开裂 #至剥萍．使涂崖，基体系统失效”o阏此残余臆山 已成为涂培制蔷与麻用的一大难题．亟待解决在 并种无损测定残余成力的方法之巾．XRD(X．Ray Diffraction，X射线衍射法)技术具青{盘测精度高，无 搅非接触、具有～定穿透深度，方便伙捷肄优点． 是城可靠和最实用的检测技术之一””本研究提山 了x射线衍射法检测界面结台强度的新方法，实现 潦艋界血结台强度的铡最．对r溶层材料深度开发 和T程应用将具有秘极的意义 黧一～≯ 兰一墨 1实验方法 II残余应力检测机理 X射线衔射法足测定涂层残余成Jj垃可靠的^ Ⅲ2＆g＆^##T∞”■∞§* 2 ofdI㈣I…々-kundtrnsidealst— 法之一．其基本原理是多晶材料存在残余麻力时． Fig Varjely 应力作用使晶呱州距发生变化(圈11．州应的衍射峰 I 2残余应力测试 也将产生位移(图2)从弹性山学与x射线衍射理 由布拉格方程可知．0珀越太则由测最误差引 沧呵以推出残余应山¨1 起dmd的误差越小，所以测帚肘麻选择p角尽豫大 =南南=180蠢为r蠢鹣2“+，】口n岛obln2∥】 6bIn2P} 【} 仪上实现的．选择了2口角为所对应的(110)叫作为衍 式巾E为弹性模聃．P为泊松比：口。为材抖无应山 射面．用cr靶隐辐射源进行照射宴验过稃巾晨 状态埘特定jB断衔射角：口为与入身』线成F角的品 州…i 2浊，按倾角F取0。．I5’，30。．45。四 p诘中x射缍府山常数：F为 咖衍射角：K为sin2 个刺骨点进行测量其斯射峰如图3所H；从3图 吐样^mJ法线与衍射品断法线夹角 r}·可看H1，随u取仇的增大，甜射峰向较小口伉方 2006-08—01 #*日Ht ●目日月；2006-10一Ol 32 ￡±女日{1#口2005*＆nMm“*11w日II(XM05 xM“241目gDM“々#女f5“os03s) *#自”彳【evll卅)*MjHH’|= ·260·