快速静态定容法测定金属材料放气量.pdfVIP

快速静态定容法测定金属材料放气量 王 斌 杨荣春 郭荷生 三，热电偶触点与浸l试试样之间的接触采用 一 、 引 言 了新措施，不需要焊接，利用弹性材料使其 随着 电子工业迅速发展，广大用户对我 接触，接触和脱离极其方便，简化了测试过 所生产 的金属材料提 出越来越多的真 空性能 程}第四，本测试装置采用了反馈信号 自动 要求，象金属材料的气密性、渗透性 、放气 加热装置，预先确定好试样加热温度，只要 速率、放气总量、吸气速率、吸气总量、比 启动高频设备，数十秒内测试试样就恒定在 吸收和材料高温放气分析等。为了满足用户 加热温度}第五，采用丁 FB一1型涡轮分子 的需要，我所 已建立 了一系列裣测金属材料 泵作为高真 空排气主泵，抽 速 较 快，选 到 真空性能的测试装置。为 了适应检测金属材 450升 ／秒 ．系统 的极 限真空达 l0一Pa，一两 料放气总量 的大量 需要 ，在 已经具备动态流 小时内就能完成材料放气测试的一个周期。 量法测定材料放气量装置的基础上，叉新建 丁快速静态定容法测定金属材 料 放 气 量 装 二 、原 理 置 。 根据材料放气量计算的最基本公式 1， 近几年来，全国各地陆续建立了十多台 材料放气总量应等于材 料释放气体容积 内气 放气量测试装置 1，多数选用 动 态 流 导 体压力与其容积的乘积。即 法，还有新发展起来 的可变通导流量法和压 G =P -V 强上升率法等。 目前机械 电子工业部正在制 式中tG一金属材料的 放 气 总 量，单 定 《电子材料真空放气性 能的动态测试方法 位 ，Pa ·L， 部标准 ，虽然应用范 围广，除金属材料外 ， P一材料敢气容积内壤高压力，单 位， 还可用于陶瓷、玻璃和云母等非金属材料， Pa, 但是测试速度太慢，误差也偏太些，我所新 V一材 料放气容积，单位，L。 建立的快速静态定容法测试装置弥补了它们 实际测量时，压力P是一个压 差量，它 的缺陷，但仅限于金属材料。率测试装置具 是 由材料释放气体前后放气容积 内容积内压 备下列特 点：第一 ，它具有测试样 品快速高 力增加的量，可用下列公式表示 ； 温加热措施，数十秒 内就可 以将试样加热到 P=AP=Pz—Pl (2) 所 需要的高温，或高或低可任意选用．本测试 式中；P一材料释放气体前系统的本底 装置采用高频感应快速加热方法，能够瞬间 压力，单位；Pa, 释放出材料放气总量J第二，它对测试试样 P一材料释放气体后容 积 内测得的稳定 直接进行测温 ，不象动态流导等其他方法， 压力，单位lPa。 其能测得真空加热容器 内某一空间温度，实 将(2)式代入(1)式，刚放气总量计算 际的试样本身温度和其 附近的空间温度有一 公式变换如下： 个温差，或者高点，或者低点，本装置测温