MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置.pdfVIP

MEMS气体流量传感器的简易流量测试装置 高杨1一，代富2，席仕伟1，刘婷婷2，3 (I．中国工程物理研究院电子工程研究所，四川绵阳621999；2．西南科技大学信息工程学院， (2．四川绵阳621010；3．重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室重庆400044) 摘要：为了完成所研制的MEMS气体流量传感器样品的流量测试与标定，设计、制作了一种由标准 流量发生器和传感器检测电路与数据采集模块组成的简易流量测试装置。标准流量发生器由注射器和 可更换的砝码组成，利用不同的砝码配重，在注射器出气口产生合适的恒定气体流速。通过理论分析 和Ansys有限元数值仿真，验证了简易标准流量发生器的可行性。传感器检测电路与数据采集模块基 于内建多路AD变换器的单片机实现，具有传感器加热电阻的恒温控制、流量信号的数字检测和显示 的功能。采用该简易流量测试装置，对自行研制的MEMS气体流量传感器进行了流量测试与标定， 获得了待测器件的标定参数、传感器流量测量的绝对误差和相对误差。 关键词：微电子机械系统，气体流量传感器，测试，标定，有限元分析 FlowRateTest fortheMEMSGasFlowSensors Simplified Setup Gao Fu2，XiShiweil，Liu Yan91一，Dai Tingtin92’3 (1．InstituteofElectronic 621999，China：2． Engineering，ChinaAcademyofEngineeringPhysics，Mianyang and Sichuan SchoolofInformation ofScience 621010， Engineering，SouthwestUniversity Technology,Mianyang of and Technology University,Chongqing400044， China；3．KeyLaboratoryOptoelectronic System,Chongqqing China) of MEMSflowsensor Abstract：Tofulfillflowratetestandcalibrationthe developedgas prototypes，a a anddata flowratetest thatconstitutedastandardflowrate andread-out Simplified setup by generator Oil anda andconstructed．mstandardflowrate isbased circuit,isdesigned generator a画ector acquisition at variable avariable seriesofsuitablecons