基于压电陶瓷驱动的微操作手研究现状.pdfVIP

基于压电陶瓷驱动的微操作手研究现状 荣伟彬 , 曲东升 , 孙立宁 ( 哈尔滨工业大学机器人研究所 , 黑龙江 哈尔滨 , 150001) 摘要 : 微操作手是微操作机器人的重要组成部分 ,首先介绍了国内外研制的几种典型微操作手 。 在此基础上 ,对于微操作手的关键技术 ,从机构 、驱动 、传感 、检测几个方面进行了论述 ,在机构上 , 介绍了微位移定位机构的特点;在驱动方式上 ,论述了压电陶瓷的驱动方法 ;在微位移检测上 ,介绍 了几种纳米微位移检测手段 。最后 ,阐述了微操作手的发展趋势 :微型化 、集成化 、智能化 ,达到纳 米级或更高的定位精度 。 关键词 : 压电陶瓷 ; 微操作手 ; 微操作机器人 ; 纳米定位 中图分类号 : TP24 　文献标识码 : A 　文章编号 : (2003) 07/ Current situation in the development of micromanipulator driven by piezoelectric actuator RON G Weibin , QU Dongsheng , SUN Lining ( ) Robot Research Instit ute , Harbi n Instit ute of Technology , Harbi n , 150001 , Chi na Abstract : Micromanipulator is the key component of micromanipulating system. Several typical micro manipulators developed abroad and domestically are introduced. Based on that , some key technologies of micromanipulator are discussed , including mechanism , actuator , sensors and controller. According ly , the characteristics of microdisplacement mechanism are described. The driving method of piezoelec tric actuator is introduced. Several nanomeasuring sensors are compared. At last , the tendency of mi cromation , integration and intelligence in the development of micromanipulator is proposed. Nanome ter scale or more positioning accuracy will be reached. Key words : piezoelectric actuator ; micromanipulator ; micromanipulating robot ; nanopositioning 1 　引　言 2 　国内外研究现状 微操作机器人在微型零件装配 、微机 电系统 目前 ,对微操作手的研究多种多样 ,可采用不同 (MEMS) 组装 、微外科手术 、生物工程 、光学工程等 的机构 、驱动和检测方式 。随着压电陶瓷微驱动技 领域具有广泛的应用前景[1 ] 。微操作手是微操作