低噪声双波长数字全息及在超精密加工表面检测中的应用.pdfVIP

第42卷第 1期 光 电工程 Vol_42．NO．1 2015年 1月 Opto—ElectronicEngineering Jan．2O15 文章编号：1003—501X(2015)01—0025-07 低噪声双波长数字全息及在超精密 加工表面检测中的应用 潘卫清 1a,2，龚国芳2，范玉峰 (1．浙江科技学院 a．理学院，b．微光学制造研究所，杭州 310023； 2．浙江大学 机械工程学系，杭州 310027) 摘要：通过两个不同波长的数字全息包裹相位差产生数字拍频，得到一个等效波长相位图以消除相位包裹，然后 用该等效波长相位光程与任一记录波长做比较，确定单波长包裹相位 中相位跳变的位置和跳变倍率，进而实现了 单波长包裹相位展开，使相位噪声不随等效波长相位展开而放大，结果表明该方法可使相位噪声引入的误差减小 2A／2~倍。用650nm和632．8nm两个波长的激光对用快刀伺服加工的微结构光学元件表面进行了数字全息测量， 得到了等效波长为0．024mm的加工纹理相位展开图，并用频谱滤波得到 了元件微观形貌的低频和高频三维数据， 各频段表面的粗糙度分别为33．2nm，19．3rim，23．4am，分析了各种微观结构产生的原因，并对快刀加工的切削 参数进行了分析。 关键词：双波长干涉；微结构表面检测；数字相位测量；相位解包裹 中图分类号：0436 文献标志码 ：A doi：10．39694．issn．1003—501X．2015．01．005 Low NoisyDualW avelengthDigitalHolographyandApplicationinthe Ultra—precisionM achiningSurfaceM easurement PAN W eiqing ，GONG Guofang2 FAN Yufeng1b ， (1．a．DepartmentofPhysics；b．InstituteofMicro—opticsManufacturingTechnology， ZhejiangScienceandTechnologyUniversity，Hangzhou310023，China； 2．DepartmentofMechanicalEngineering，ZhejiangUniversity，Hangzhou310027，China) Abstract：Throughthesubtractionoftwodigitalholographicwrappedphasesfordifferentwavelengths，ityieldsabeat phaseimagecorrespondingtoanequivalentwavelengthtoremovethephasewrapping．By comparingthebeatphase imagewithanyrecodingwavelength，thepositionandmultipleofthesinglewavelengthphasejumpareconfirmed．Hence， thewrappedphaseinsinglewavelengthphaseiswrappedandthephasenoiseiskeptfixed．Simulationandexperimental resultsdemonstratethemeasureerrorinduced