桥式RF-MEMS开关材料对开关特性影响的研究.pdfVIP

桥式盱叫E髂开关材料对开关特性影响研究· 雷啸锋，刘泽文，李志坚，刘理天 清华大学微电子学研究所，北京100084 擅要t为了获得高性能RF-MEgS开关，本文对桥式RF-MEMS开关进行深入的静电与力学分析， 得到了相关模型与公式．在此基础上讨论了器件几何结构参数、材料的力学和电学特性对开 关参数的影响， 指出通过改变间距、梁膜厚度，选用高介电常数材料可进一步提高开关性 能。 ． 关t词：RF-bII珊S，开关，通讯 1引盲 }^EMS开关或类似结构作为一种典型的MEMS器件，是最早收到深入研究的课题[1j．最近． 由于该开关在未来通讯和微波领域的重要应用前景，这一研究再次成为熟点[2，3．4]；目前～ 报道多种形式的ME蟠开关，但根据其结构特点，主要可以分为两类： (1)两端固定的悬空 (2)一端固定另一端自由的悬臂或弹性梁 金属薄膜构成的桥式结构开关(Bridge．B类)； 结构的开关(Cantilever．C类)．B类开关利用金属一绝缘体一金属接触形成电容耦合。在线路 中通常采用并联方式，该开关适于在大于1GHz的高频中应用。其典型开态插入损耗为O．1 联方式，利用其金属臂与线路的金属一金属接触形成一个电阻式串行设置的单刀单掷开芙．该 态插入损耗为0．1dB。由此可见．微型机械开关的在隔离度、插入损耗等性能方面有明显的 优势。且具有0直流消耗、低畸变等特性。这些优良特性使该器件特别适于低功率RF／微波j 毫米波通讯系统。然而肛Ms开关在开关速度、工作电压等方面仍然有许多值得改进的地方。 而提高速度降低电压直接与上数参数相关或冲突，应此有必要对上述开关的机械、力学与电 学特性给与认真分析．采用新型结构或材料制作高性能器件。本文试图对挢式RF—MEMS开关 作较为详细的分折，在此基础上提出进一步提高开关性能的途径。 2基本关系 图1给出了桥式RFMEMS开关的基本构 支撑 铝膜 造。支撑结构和电极构成共面波导传输线，电极既 是信号通道，也是对开关进行控制电极。当在电极 于铝膜之间加上一定的电压， 由于电场力的作 用．铝膜发生形变。导致共面线之间的电容从ck变 化成c0，从而完成一次开关动作。如果金属粱材 1介雹k一之极 料均匀，边界理想固支且介质的介电常数很大， i跨衬瘸李强磊羔薯；!{j； 对电场强度的影响忽略不记。假设粱的初始应力 图1桥式删8开关剖面示意图 为ao．且作用在弹性范围内。在～阶近似下，可 973国家重点研究基础发展项目，台同号：G1999033105 ·243· 得梁的轴向变形能“。金属梁的弯曲变形能为％，和静电压在两极板问产生的静电能分别 为： ‰砜+等笋+等㈩ ％：=—：rSE五bhr3w12 (2) 砂： 鱼翌 (3)。。 。2(d—H—h／2) 其中．‰为真空介电常数．矿为电压．E是 金属粱的弹性模量。h，6．，分别为梁厚，梁宽和 图2开关的力学原理示意图 梁长度。S=lx^，是电极的长度。毗为梁的中心 挠度。由于 _，：墼，L：：墼，t：擎 (4) ow,口Ⅵ ml 在平衡位置，有： CI+‘：=只 (5) 塑!±墨22：堡 (6) 8w, ／gw, 由关系(1)，(2)， (3)和方程(4)，(5)，