四悬臂梁压阻式加速度计的设计和制作.pdfVIP

四悬臂梁压阻式加速度计的设计与制作 张兆华，刘理天：温明生+ 清华大学微电子学研究所．北京100084 +吉首大学传感器研究所． 湖南416000 擅要；本文提出r一种压阻式加速度传感器结构。采用四梁结构，横向灵敏度比较小，灵 敏度比较高，达到了14 67mv／g。是一种比较实用的传感器。 关健词：加速度传感器：压阻：加速度；传感器 11．前言 宏观范畴的加速度传感器是发展得比较成熟的技术，也是在工程实际中得到』、。泛应用 的技术。白90年代起，微电子机械系统MEMS的发展，极丈地推动了传感器技术的进步． 井首次实现了加速度传感器的微g!化。 硅是一种良好的MEMS(MicroElectroMachanical System)材料。它不仅具有优秀的电 学特性，它还是良好的机械材料。硅的屈服强度是不锈钢的两倍，强度重量比超过了铝， 它的弹性模量比钢还高．而密度仅为钢的三分之一。压阻式加速度计充分利用了硅的这些 优良特性，通过硅的压阻效应，把力学量转化为电学量。压阻式加速度计的优点是制作』 艺简单，灵敏度比较高。 2．加建度计的结构 采}}j典型的四悬臂量结构，如图l所示。采用般面抛光的N型(100)硅园片。 吲】 压阻式加速度计结构示意图 根据加速度计的结构，对给定的梁按一定的宽艮比，用有限元方法进行应力分析。我 u，100 u。首先建立一 们采用的宽长比是2500：600，厚度有二种不同夫小：400¨，200 个有限元模型，如剧2所示。然后进行虑力分析。从图2可以看出，应力主要集中在悬臂 梁和固支部分的接合部。具体的应力分布结果如图3所示。 从图3中可以看出，应力分布有两个特点。第～个特点是应力集中区很小，分布在悬 臂梁的根部，在恳臂梁的其他部位，应力很小。在厚体硅上，几乎没有应力。这也证明了， 可以在厚体硅上做信号处理电路．不会受划麻力的影响。第二个特点是应力方向性很好， 171· x方向的应力比Y方向人好儿倍。这也说明对同一个悬臂粱的敏感电阻，受到相同麻力的 作J{{，只是因为压阻系数不同才导致不同的压阻效应。 根据应力分布情况确定压敏电阻的位置，电阻分布在距离悬臂梁根部420—720 p的区 域。为了便于信号处理和温度补偿，采用典型的全桥结构连接四个压敏电阻，如图4所示。 图2加速度计有限元分析模型 … “ ，-， !一= ； j。¨。，鬟|一；摺 滋黛惫； 。’：移。| J w