太阳电池用本征微晶硅材料的制备及其结构研究.pdfVIP

第 卷 第 期 年 月 物 理 学 报 ’) %# ##’ %# ， ， ， *V9 2’) _V 2 %# ?ARVbMS ##’ （ ） %###-W###’’) %# )F$)-#’ D0‘D .+aB]0D B]_]0D ##’ 0JC 2 .JT; 2 BVA 2 太阳电池用本征微晶硅材料的制备及其结构研究! ! 张晓丹 赵 颖 高艳涛 朱 锋 魏长春 孙 建 耿新华 熊绍珍 （南开大学光电子薄膜器件与技术研究所，天津 ###$%） （南开大学光电子薄膜器件与技术天津市重点实验室，天津 ###$%） （光电信息技术科学教育部重点实验室（南开大学），天津 ###$%） （ 年 月 日收到； 年 月 日收到修改稿） ##’ % ( ##’ ) 采用 技术制备了系列不同硅烷浓度和反应气压的微晶硅薄膜 运用拉曼散射光谱和 射线衍射 *+,-./0*1 2 3 对制备的材料进行了结构分析 在实验研究的范围内，制备材料的晶化程度随硅烷浓度的增加而降低 的测试 2 2 451 结果表明：制备的微晶硅材料均体现了（ ）方向择优 应用在电池的有源层中，制备出了效率达 的单结微晶 # 2 $ 6 %7 硅太阳电池，电池的结构是 （ ：）（ ：）（ ： ），没有 背反射电极，有源层的厚度仅为 89:;;=? @ A-BC + C A-BC + :-BC +D9 =? ! ! %6 E 2 ! 关键词：本征微晶硅薄膜，拉曼光谱， 射线衍射 3 ： ， ， !## $(#, $F#G #5 对材料进行了拉曼的测试分析 文中详细的对制备 2 %6 引 言 材料的结构进行了分析，并且将一定的材料应用到 了器件中2 微晶硅薄膜的制备及其特性研究成为目前光伏 ［— ］ 领域关注的热点% ) 2 因为其没有非晶硅材料的 6 实 验 BO/ 问题，同时也克服了晶体硅材