氧化锌薄膜的研究与开发进展.pdfVIP

氧化锌薄膜的研究与开发进展 赵谢群　邱向东 (北京有色金属研究总院, 北京 100088) 林鸿溢 (北京理工大学电子工程系, 北京 100081) 　　摘要　阐述了ZnO 薄膜材料的结构特点、电学性质和光学特性。分析了薄膜研制、应用与开发现 状, 展望了产业化发展前景。 关键词　ZnO 薄膜　制备技术　应用 D evelopm en t an d A ppl ica t ion s f or Z in c O x ide Th in F ilm Zh ao X iequn , Q iu X ian gdon g (Genera l R esea rch I ns titu te f or N onf errous M eta ls, B eij ing 100088) L in H on gy i (E lectron ic E ng ineer ing D ep a r tm en t, B eij ing U n iv ers ity of T echnolog ies, B eij ing 100081) 　　A bstract　T h e developm en t o f th e m icro st ru ctu ra l, elect r ica l an d op t ica l p rop er t ie s o f zin c ox ide th in f ilm is in t ro du ced. T h e p rep arat ion m etho d s, su ch a s m agn et ron sp u t , , , , ter in g p u lsed la ser ab lat ion ch em ica l vap o r dep o sit ion so l gel syn th e sis an d sp ray p y ro ly sis are de scr ib ed re sp ect ively. T h e app licat ion o f th e f ilm an d it s in du st r ia lizat ion . p ro sp ect w ill b e rev iew ed a s w ell 　 　 　 Keywords ZnO th in f ilm P rep arat ion A pp licat ion 发工艺等, 特别是近年发展起来的新技术—— 1　引　言 激光沉积、溶胶凝胶和喷射热分解工艺在ZnO 氧化锌薄膜是一种光学透明薄膜, 纯ZnO 薄膜制备方面取得了相当大的进展, 大量国内 及其掺杂薄膜具有优异光电性能, 用途广阔, 而 外文献作了多方面报道。本文对ZnO 薄膜的性 且原料易得、价廉, 所以激发了科技人员的研 质、制备技术及开发应用的近期新进展作简要 究与开发应用的兴趣, 成为 目前最有开发潜力 阐述。 的薄膜材料之