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OLYMPUS MX6161L - 中国科学技术协会.pdf
0 常规的显微观察工具
焊接接头显微组织分析
的信息化技术
The Information Technology on Analyzing Microstructure of
Welded Joints
北京元中锐科公司
张仁强
0 常规的显微观察工具 1 激光共聚焦扫描显微镜工作原理
1 激光共聚焦扫描显微镜工作原理 1 激光共聚焦扫描显微镜工作原理
405nm 短波长半导体激光 针孔挡杂散光影像
高亮度 获得焦点面的反射光
高纯度 能够辨别同一高度图像的传感器
高分辨率
非共焦 共焦
405 488 光电倍增管
▼ ▼
圆形共焦
针孔
成像镜
片
1
1 激光共聚焦扫描显微镜工作原理 1 激光共聚焦扫描显微镜工作原理
焦平面(XY) 逐点逐行扫描
Z向堆积合成
2 LEXT 可获取的信息 2 LEXT 可获取的信息
光学分辨率
XY 方向：0.12μm，最佳测量范围1.5mm～1μm
Z 方向：0.01μm，最佳测量范围3mm～0.5μm
测量重复精度
XY 方向：3σn-1 = 0.02 m
Z 方向： 3σn-1 = 0.05 + 0.002L
2 LEXT 可获取的信息 3 显微信息处理技术OLYCIA m3
精确的表面三维形貌数据、空间关联的显微组织图像数据 支持自动或手动阈值模式；
支持彩色图像分割；
支持智能颜色吸管技术，自动拟合阈值区间；
支持多重阈值测量；
支持将原图与分割图像叠加显示，使分割效果一目了然；
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