傅立叶变换红外光谱法测定铝阳极氧化膜厚度.pdfVIP

年 月 电镀 与 精 饰 第 卷第 期 总 期 *##+ 4 * % ) + , p’-p 文章编号!##$%’()*##+,#%$##’-$#% . 傅立叶变换红外光谱法测定 铝阳极氧化膜厚度 张 东 霸书红 邵忠财 / / 沈阳理工大学 环境与化学工程学院 辽宁 沈阳 ) / #+, 摘要 利用反射 傅立叶变换红外光谱法对铝阳极氧化膜厚度进行了无损测定 结果表明 常温环境 ! $ 0 ! 下 以金镜为本底 用傅立叶变换红外光谱仪扫描铝阳极氧化膜的反射光谱 由于入射到膜的内外 / / / 层表面的反射光达到一定相位差时会引起干涉 通过反射光谱的干涉条纹 利用公式计算出氧化膜 / / 的厚度 该方法操作简便 测定速度快 应用于实际样品的无损测定 结果满意 0 / / / 0 关 键 词 反射 傅立叶变换红外光谱 铝阳极氧化膜 厚度 无损测定 ! $ 1 1 1 中图分类号! 45%% 文献标识码! 23 6 789:;8=8?@ABC;=D;= B@EDFGHDE9?D@ IDC= JKDFL8::MNIJOP / $ / $ QRST3 UVWX 6S YZ[ZVWX YRS\ QZVWX]^_ 引 言 h 方法原理 铝阳极氧化膜在材料保护领域有着广泛的研究 铝阳极氧化膜层厚度红外干涉法测量原理是利 与应用 近几年 又应用于磁学 光学 电子 分离膜 用入射到膜的内外层表面的反射光达到一定相位差 0 / ‘ ‘ ‘ 等领域ab +c 无论是在材料保护方面 还是在其功能 时引起干涉 从而根据所产生的红外干涉条纹来计 0 / / 化应用方面 都经常需要测定膜厚度 目前 对于膜 算求得膜层的厚度ac / 0 / 0 a-c 厚度的无损测定可采用称量法 但是称量法测定 红外光谱仪反射装置 是用两块交角为 的 / / *#i a/(c 对试样的体积 形状有较多要求 光干涉法 以及 平面反射镜组成 使入射到样品膜层表面的入射角 ‘ 1