光谱式MEMSCMOS兼容气敏传感器.pdfVIP

第 卷 第 期 半 导 体 学 报 ２９ １０ 犞狅犾．２９ 犖狅．１０ 　 　 　 　 　 　 年 月 ， ２００８ １０ 犑犗犝犚犖犃犔犗犉犛犈犕犐犆犗犖犇犝犆犜犗犚犛 犗犮狋．２００８ 光谱式 ／ 兼容气敏传感器 犕犈犕犛犆犕犗犛  高超群 焦斌斌 刘茂哲 李全宝 杨 锴 石莎莉 李志刚 欧 毅 景玉鹏 陈大鹏 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 　 （中国科学院微电子研究所，北京 １０００２９） 　 摘要：光谱技术是化学分析的终极手段 将光谱技术与 （ ）和 技术结合是解 ． 犕犈犕犛犿犻犮狉狅犲犾犲犮狋狉狅犿犲犮犺犪狀犻犮犪犾狊狊狋犲犿狊 犆犕犗犛 狔 决当前气敏传感器灵敏度低、选择性差、体积大、功耗高、不便于阵列化和高度集成以至于无梯度立体矢量探测能力等问题 的有效手段 本文介绍了一种制作于（ ）硅片上的集成光谱式 ／ 兼容气敏传感器，详述了该气敏传感器的工 ． １１０ 犕犈犕犛犆犕犗犛 作原理、传感器结构和制造工艺． 关键词：犕犈犕犛；气敏传感器；光谱分析 ： ； ； 犘犃犆犆 ８２８０犜 ０７６５犌 ４２８３ 中图分类号： 文献标识码： 文章编号： （ ） 犜犖４ 犃 ０２５３４１７７２００８１０２０４３０７ 　　　 　　　 克服大型光谱仪体积大、成本高的缺点，具有精度高、速 １ 引言 度快、分析范围广、灵敏度高等一系列优点，同时还具有 　 ［ ］ ６ ８ 可批量生产、便于推广等优势 ～ ．它必将成为一种全 环境恶化引起的各类疾病给无数患病者带来痛苦， 面监测气体环境，保障人们生活安全的有力工具． 威胁着人类的生命安全 但是对于许多有毒有害或易燃 光谱仪微型化领域已有不少研究实例，如 ． 犛犾狅犫狅 ［］ ［ ］