取样光栅镀膜减反技术研究.pdfVIP

第 卷 第 期 强 激 光 与 粒 子 束 ! ! ! #$%! ’$! ! ! ! 年 月 ! ())* ! +,-+ ./012 34512 4’6 .427,831 914:5 ;=())* ! ! 文章编号! # !))!?@((())*)!))*A)? ! 取样光栅镀膜减反技术研究 刘 全! 吴建宏 ! ! 苏州大学信息光学工程研究所!江苏苏州 # (!A))B 摘 要! 根据惯性约束聚变系统技术要求!提出了镀膜减反方案!以解决现有光栅由于元件表面反射影 !! ! ! 响零级透过率的问题$使用严格耦合波理论分析了镀 减反膜的取样光栅特性!详细地分析了仿形膜和 C$%E% D 平面膜的减反情况和取样效率的变化$结果发现!镀平面膜是一种可行的技术方案!光栅表面反射几乎完全消 除!表明可以通过取样光栅镀膜减反来达到提高透射率的目的%裸光栅的深度为 !(=F时!平面减反膜厚为 B) !即光学厚度为等效 波长’ $此时的透射率为 !取样效率为 $ =F !? *(=F GH )(?!I 关键词! 取样光栅% 减反膜% 衍射效率% 严格耦合波理论 !! ! ! ! ! 中图分类号! % 文献标识码! /?@B! /?G? 4 !! ! !!!! ! 在惯性约束聚变 #系统的终端靶场子系统中!在三倍频激光 #进入终端靶场之前!需要采用取 ,8J @A!=F !! 样光栅 #将透射的三倍频光按一定的比例送入能量计中进行能量诊断$取样光栅是适用于整个波长范围 95- 的取样元件!它可应用于大口径光束的取样!在基本不影响主光束的前提下!为激光能量(波前畸变的诊断提供 ) * !@ 取样光束$为了保证主光束打靶的强能量!取样光束的取样效率一般在 左右 $ !I 目前!国内已有的报道 的文献中!都没有考虑消除光栅表面的反射!这对提高 系统的能量利用率 95-