改良西门子法多晶硅还原新技术研究进展.pdfVIP

四川有色金属 · · 年 月 1 Sichuan Nonferrous Metals 2009 7 文章编号： 1006-4079 （2009 ） 02-0001-04 改良西门子法多晶硅还原新技术研究进展 曾亚龙， 丁国江， 廖敏 （峨嵋半导体材料厂、所，峨眉山市 614200 ） 摘要：在日益激烈的国际竞争环境下，传统改良西门子法多晶厂商发展成本更低的替 代技术势在必行。 本文简单介绍了国外公司的三氯氢硅流化床技术和气液沉积法技 术；其中三氯氢硅流化床技术能充分利用现有改良西门子法的全部产品流程，对改良 西门子法多晶厂商更具参考意义。 关键词：三氯氢硅；粒状多晶硅；还原；流化床；气液沉积 中图分类号： + 文献标识码： TN304.1 2 A Research Progress for New Technology of Polysilicon Deoxidization Based on Improved Siemens Method ZENG Ya-long% ， DING Guo-jiang ， LIAO min (Emei Semiconductior Materials Factory, Emei ,Sichuan 614200) Abstract ： In the increasingly fierce international competition, the polycrystalline manufacturers using traditional improved Siemens method must use the lower cost alternative technologies. This paper introducts trichlorosilane fluidized bed technology and gas-liquid deposition technology in foreign companies. The trichlorosilane fluidized bed technology which can make full use of all process of Siemens product is more useful to polycrystalline manufacturers using traditional improved Siemens method. Key words ： Granular polysilicon ; Deoxidization ; Fluidized bed; Gas-liquid deposition 随着国际多晶硅市场趋于理性化， 多晶硅行 其生产安全性差， 危险大， 产品纯度不高。 [ 2] 业暴利不再， 国内外各多晶硅厂家不得不将生产 ② 等离子法 ： 此法由德国Frankfurt 大学 的重心从扩大产能， 提高产量上放回到提高质 Auner教授发明， 原名叫 City Solar Process 。