高精密工作台伺服驱动环节的设计与研究.pdfVIP

自动化与仪器仪表 高精密工作台伺服驱动环节的设计与研究 北京清华大学精密仪器与机械学系(100084)沈全洪齐国生徐端颐蒋培军 摘要：研究并设计了应用于母盘刻录机的高精密工作台伺服驱动环节。在基于DsP数字闭环 控制器的基础上，通过理论建模、程序仿真和实验验证，对驱动环节进行了优化设计。在驱动环节中 采用了模拟速度环、PI校正环节和线性功放，使工作台在低速下有较快的响应和较小的稳态误差。实 验结果表明，使用驱动环节后的伺服控制系统有利于提高母盘的刻录精度。 关键词：母盘剥录精密工作台 驱动环节 速度环PT校正 了Pj A 随着社会的发展，信息的存储量越来越大，光盘信’ 测速电机组45L—czool。 息存储技术也在不断飞速发展，因而对母盘制造精度提 荇忽略电枢电感和粘性阻尼系数，则以电枢电压 出r更高的要求。 U。(s)为输人、转速n(s)为输出的直流电机的传递函数为： 目前，光盘同家T程研究中心利用高速敬字信号处 Ff。1：—!Ⅺ：