激光偏振干涉光路的非线性分析计算.pdfVIP

第 卷 第 期 计 量 学 报 掩 年 月 , 激光偏振干涉光路 的非线性分析计算 郭彦珍 郑 宗 明 李 信 西安理工大学 , 西安 摘 要 偏振千涉光路两臂光程差 的变化和合成千涉信号 的相位 变 化, 理论上 。 具有线性关系, 可 以对 引起光程差 的任何微小量进行测量 实际上光路光 学 元件性 。 能及调整并不理想 , 形成 了二者 的非线性关系 本文分析计算 了各光学 元 件形成 的 非线性及 这些元件综合形成 的非线性 , 给 出了适用于 各种情况下 的 计 算公式 , 并提 出了光路 的调整方法 。 关键词 激光 偏振干涉 非线性 分析计算 调整方法 , 一 ‘ 概述 、 。 一般激光超高精度长度 位移测量 多用外差千涉仪 主要原 因是外差干涉 容 易实 现 高倍 电子细分, 提