超声波磁流变复合抛光中几种工艺参数对材料去除率的影响.pdfVIP

超声波磁流变复合抛光中几种工艺参数对材料去除率 的影响1 王慧军，张飞虎，赵航，栾殿荣，陈亚春 哈尔滨工业大学机电工程学院，哈尔滨 （150001 ） E-mail：hj_wang2003@ 摘 要：本文介绍了一种光学抛光新方法—超声波磁流变复合抛光。文中首先介绍了超声波 磁流变复合抛光的基本原理和实验装置。进行了超声波磁流变复合抛光实验，采用轮廓仪实 测光学玻璃超声波磁流变抛光材料去除轮廓曲线。通过超声波磁流变复合抛光工艺实验，研 究了几种工艺参数，包括磁场强度、超声振幅、抛光工具头与工件的间隙、抛光工具头转速、 工件转速对光学玻璃材料去除率的影响，获得了它们之间的关系曲线，得出了光学玻璃超声 波磁流变复合抛光材料去除规律。光学玻璃超声波磁流变复合抛光材料去除规律的获得为进 一步研究超声波磁流变复合抛光技术奠定了基础。 关键词：材料去除率，超声波磁流变复合抛光，超声波抛光，磁流变抛光，超精密加工 中图分类号： TH161 1. 引言 随着现代光学技术的迅速发展，人们对光学系统提出了许多新要求，例如高分辨率、大 视场等，这些要求促使光学设计者越来越多地考虑采用非球面镜。非球面光学元器件也广泛 应用于航空机载设备、卫星、激光制导、红外探测、激光核聚变、巡航导弹、眼科仪器、各 种民用照相机及摄影机、望远镜、显微镜等诸多军工和民用领域。非球面的应用离不开非球 面的加工和检测技术，由于受抛光工具尺寸等诸多因素的影响，非球曲面光学元器件的超精 密加工问题一直困扰着光学制造业[1] 。本文介绍了超声波磁流变复合抛光这一新的光学加工 方法，该方法为非球面的超精密加工，尤其是具有小曲率半径的凹曲面的超精密加工开拓了 ， 一种新思路。超声波磁流变复合抛光方法将超声波抛光[2 3]与磁流变抛光[4-6]有机的复合在一 起，因此兼有两种方法的优点。 在超声波磁流变复合抛光中，由于材料是在小范围内被去 除，因此，该方法可应用于小曲率半径的凹曲面的抛光加工。在我们以前的研究中，实验已 经证明超声波磁流变复合抛光方法具有比常规磁流变抛光方法更高的抛光效率[7]. 超声波磁 [8] 流变复合抛光光学玻璃K9 的材料去除率理论去除模型也已经讨论过 。 本文从实验出发，通过对超声波磁流变复合抛光光学玻璃材料时各工艺参数对材料去除 率关系的探讨，进一步研究超声波磁流变复合抛光技术。 2. 系统介绍超声波磁流变复合抛光原理 图 1 所示为超声波磁流变复合抛光加工原理图。在超声波磁流变复合抛光中，采用具有 小直径的抛光工具头，利用抛光工具头的端面进行抛光。在抛光过程中，当正确装夹工件后， 在旋转的抛光工具头上通入磁流变液，并施加具有一定磁感应强度 B 的磁场，使磁流变液 在抛光工具头端面形成具有一定去除能力的柔性抛光工具。与此同时，在抛光工具上施加超 声振动，超声振动能量直接作用于抛光加工区域，提高抛光的效率。由于该方法可以采用小 直径的抛光工具头，从而克服了普通磁流变抛光需使用较大直径抛光轮的缺点，不仅能够实 现具有较小曲率半径的凹曲面的纳米级表面抛光，还可推广应用于自由曲面的抛光加工。 1 本课题得到国家自然科学基金（No）和高等学校博士点专项基金（No.20050213040 ）资助。 - 1 - z 抛光工具头 抛光工具头 z