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X射线光电子能谱
数据处理
北京科技大学
冶金生态楼109
冯婷 2011.3
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Content
1 仪器型号及主要参数
2 元素组成鉴别
3 元素定量分析
4 元素化学态分析
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Content
1 仪器型号及主要参数
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仪器型号及参数
X射线光电子能谱仪型号:AXIS ULTRADLD (岛津集团
Kratos公司生产)
X射线源:单色化Al 靶,Al Kα hυ=1486.6eV
:
样品分析区域 700µm ×300µm
信息采样深度:无机材料5nm ,有机材料10nm
X射线工作功率:一般为150W
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2 元素组成鉴别
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元素组成鉴别
操作步骤:
1. 使用Excel打开原始数据。将表格中数据向下拉,依次为宽
谱(wide )及各个元素的窄扫谱图数据。
2. 选取所要分析元素图谱的数据区域(如,wide下面的数据)
3. 将数据拷入Origin软件,以Binding Energy(BE)作为横坐标,
Intensity(I)作为纵坐标作图,得到宽谱。
4. 不同元素对应有唯一的结合能数值(BE ),可与X射线光
电子标准谱图进行比对(NIST 网址:
/xps/selEnergyType.aspx )
5. 首先鉴别总是存在的元素谱线,如C、O 的谱线
6. 鉴别样品中主要元素的强谱线和有关的次强谱线
7. 鉴别剩余的弱谱线假设它们是未知元素的最强谱线
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